[實用新型]一種晶圓烘烤系統

有效

• 申請號: 201721399340.1
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207367933U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 張懷宣
• 申請（專利權）人: 上海眾鴻電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所(普通合伙) 31251
• 代理人: 郭桂峰

1.一種晶圓烘烤系統，其特征在于，包括：

機臺，

加熱裝置，

若干熱板，設置在所述機臺上，所述加熱裝置為所述熱板加熱，

若干溫度傳感器，布設在每個所述熱板上測溫，每個熱板上至少設置一個溫度傳感器；

減法器，獲取所述溫度傳感器測得的每兩個熱板的溫度差；以及，

控制裝置，根據所述減法器獲得的溫度差，調節所述加熱裝置為所述熱板加熱，以使所述熱板之間的溫度差不超過第一設定值。

2.根據權利要求1所述的晶圓烘烤系統，其特征在于：進一步包括報警器，所述報警器與所述減法器通訊連接；

當所述減法器獲得的溫度差大于第二設定值時，所述報警器報警。

3.根據權利要求1所述的晶圓烘烤系統，其特征在于：進一步包括報警器，所述報警器與所述溫度傳感器通訊連接；

當所述溫度傳感器測得所述熱板的溫度超過預設溫度范圍時，所述報警器報警。

4.根據權利要求2或3所述的晶圓烘烤系統，其特征在于，所述報警器包括：

發聲器；

和/或；

警報燈。

5.根據權利要求4所述的晶圓烘烤系統，其特征在于：進一步包括顯示面板；所述顯示面板與所述溫度傳感器通訊連接，以實時顯示其測量值。

6.根據權利要求4所述的晶圓烘烤系統，其特征在于：進一步包括顯示面板；所述顯示面板與所述減法器通訊連接，以實時顯示其測得的溫度差。