[實(shí)用新型]一種應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)爐的熱屏裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721398765.0
• 申請(qǐng)日: 2017-10-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207877923U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐永亮;張國(guó)華;施海斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江昀豐新材料科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/14
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 逯長(zhǎng)明;許偉群

1.一種應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)爐的熱屏裝置，所述熱屏裝置為筒狀結(jié)構(gòu)，包括由外向內(nèi)依次設(shè)置的外屏(1)、保溫層(4)和內(nèi)屏(2)，所述保溫層(4)填充設(shè)置在所述外屏(1)與內(nèi)屏(2)之間，其特征在于：

所述熱屏裝置還包括設(shè)置在所述內(nèi)屏(2)內(nèi)側(cè)的水冷套(3)，所述水冷套(3)包括圓臺(tái)形的套筒(33)，生長(zhǎng)的晶體穿設(shè)在所述套筒(33)形成的中空腔中，所述套筒(33)的側(cè)壁包括由外向內(nèi)依次設(shè)置的外壁(331)和內(nèi)壁(333)，所述外壁(331)和內(nèi)壁(333)形成密閉的通水腔(332)，所述通水腔(332)分別與進(jìn)水管(31)和出水管(32)相連接，

所述外壁(331)與所述內(nèi)屏(2)之間形成空氣夾層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述通水腔(332)內(nèi)設(shè)置有用于引導(dǎo)水流方向的導(dǎo)流片(334)，所述導(dǎo)流片(334)螺旋環(huán)繞設(shè)置在通水腔(332)內(nèi)，兩側(cè)分別與外壁(331)和內(nèi)壁(333)相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述內(nèi)屏(2)包括從頂部到底部順次連接的第一側(cè)壁(21)與第二側(cè)壁(22)，所述第一側(cè)壁(21)與所述外屏(1)的距離相等，第二側(cè)壁(22)與所述外屏(1)的距離逐漸增大；

所述套筒(33)與所述內(nèi)屏(2)圍成的中空腔為同心設(shè)置，所述套筒(33)的頂部與底部分別與所述第一側(cè)壁(21)和第二側(cè)壁(22)相連接，中部與所述內(nèi)屏(2)之間形成所述空氣夾層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述熱屏裝置還包括保溫環(huán)(7)，所述保溫環(huán)(7)為中空的圓筒，包括側(cè)壁(71)和分別從所述側(cè)壁(71)的頂部和底部沿徑向向外延伸的第一邊緣(72)和第二邊緣(73)，

所述第一邊緣(72)環(huán)繞設(shè)置在所述套筒(33)的底端外側(cè)，并且在軸向上與所述套筒(33)之間存在間隙，所述間隙的范圍是0～3mm；

所述第二邊緣(73)與所述內(nèi)屏(2)底端的側(cè)壁相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述保溫環(huán)(7)的高度范圍是40-90mm，

穿設(shè)于所述保溫環(huán)(7)中的晶體與保溫環(huán)(7)的側(cè)壁(71)之間的距離范圍是10-30mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述進(jìn)水管(31)和出水管(32)分別由多段水管順次連接構(gòu)成，兩者的端部分別從所述套筒(33)頂部的邊緣向外部延伸，其中，

所述進(jìn)水管(31)上包括第一連接段(311)，所述出水管(32)上包括第二連接段(321)，所述第一連接段(311)和第二連接段(321)均位于所述內(nèi)屏(2)頂部上方，并分別設(shè)置有安裝片(34)，

所述安裝片(34)上設(shè)置有安裝孔(341)，所述安裝孔(341)內(nèi)安裝有連接螺釘(5)，所述連接螺釘(5)依次穿過(guò)安裝孔(341)、內(nèi)屏(2)頂部邊緣和外屏(1)的頂部邊緣，并與螺母(6)相互配合，將所述外屏(1)、內(nèi)屏(2)和水冷套(3)相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述內(nèi)屏(2)與所述內(nèi)壁(333)之間的空氣夾層厚度范圍是3-10mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱屏裝置，其特征在于：

所述內(nèi)屏(2)的頂端與所述水冷套(3)的連接螺釘(5)處在軸向上存在間隙，所述間隙的范圍是80-120mm。