[實用新型]廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置

有效

• 申請號: 201721397307.5
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207102906U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 蔡聰正
• 申請（專利權）人: 嘉善天和半導體制程排氣工業有限公司
• 主分類號: B03C3/04
• 分類號: B03C3/04;B03C3/47;B03C3/74
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙)11489
• 代理人: 姚海波

1.廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，包括廢氣排放進管(4)，其特征在于，所述廢氣排放進管(4)的出口通過法蘭連接有套管(11)，所述套管(11)的另一端法蘭連接有廢氣排放出管(16)，所述套管(11)圓周內壁的一端通過螺栓連接有第一安裝架(3)，所述第一安裝架(3)的中部插接有靜電離子噴射槍(5)，所述套管(11)的內部套接有弧形結構的靜電吸附板(10)，所述靜電吸附板(10)的內壁兩端均通過螺栓連接有環形結構的電動滑軌(7)，且電動滑軌(7)的表面滑動連接有電動滑塊(8)，兩個所述電動滑塊(8)之間通過螺栓連接有同一個刮板(14)，所述套管(11)的頂部通過螺栓連接有防護盒(6)，且防護盒(6)的頂部內壁一端通過螺栓連接有靜電發生器(9)，所述防護盒(6)的頂部內壁另一端通過螺栓連接有控制器(13)，所述套管(11)的底部開設有開口，且開口處通過螺栓連接有矩形框(2)，所述矩形框(2)的底部通過螺栓連接有閘門(17)，所述閘門(17)的底部通過螺栓連接有收集盒(1)。

2.根據權利要求1所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，所述靜電發生器(9)的一端通過導線與靜電離子噴射槍(5)連接，且靜電離子噴射槍(5)連接靠近廢氣排放進管(4)。

3.根據權利要求1所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，兩個所述電動滑軌(7)位于開口處的一段通過螺栓連接有限位塊，且限位塊的兩端通過螺絲連接有壓力傳感器。

4.根據權利要求1所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，所述套管(11)圓周內壁的另一端通過螺栓連接有第二安裝架(15)，且第二安裝架(15)靠近第一安裝架(3)的一側中部通過螺栓連接有中和電極棒(12)。

5.根據權利要求1所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，所述電動滑塊(8)與電動滑軌(7)通過導線連接有開關，且開關通過導線與控制器(13)連接。

6.根據權利要求3所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，所述壓力傳感器通過信號線與控制器(13)連接，且控制器(13)的型號為DATA-7311。

7.根據權利要求1所述的廢氣排放管內壁的PTFE粉末靜電吸附裝置，其特征在于，所述刮板(14)的長度等于靜電吸附板(10)的長度，且刮板(14)與靜電吸附板(10)接觸。