[實用新型]一種帶迷宮密封的線鋸張力測量裝置

有效

• 申請號: 201721392445.4
• 申請日: 2017-10-26
• 公開（公告）號: CN207408033U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;李林;劉文濤;梁永峰;聶炎;沈加富;饒鵬
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: G01L5/04
• 分類號: G01L5/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型涉及單晶硅金剛線切片機的輔助設備，旨在提供一種帶迷宮密封的線鋸張力測量裝置。該種帶迷宮密封的線鋸張力測量裝置包括傳感器安裝座、傳感器軸、傳感器后蓋、軸承安裝座、軸承、軸承內壓蓋、軸承外壓蓋、張力傳感器、張力測量導輪、傳感器信號處理電路板，傳感器信號處理電路與測量裝置設計成一體。本實用新型在工作狀態時，可有效防止傳感器信號受到外部環境的干擾及信號的衰減，能獲得更靈敏、準確的張力信號，更能有效防止切割液、硅粉、硅泥進入傳感器內部的可能性，能有效確保張力導輪的靈活性。

技術領域

本實用新型是關于單晶硅金剛線切片機的輔助設備領域，特別涉及一種帶迷宮密封的線鋸張力測量裝置。

背景技術

單晶硅自單晶爐中拉制出來為圓柱體。通過截斷、切邊皮兩道粗加工，成為長方體晶棒。晶棒在磨圓角、磨平面、黏膠、切片，四道工序切成薄片。在清洗、腐蝕和再清洗等工序之后，再對晶片進行制絨、擴散、制PN結、鍍膜和燒結等工序后制造出用于光伏發電的太陽能電池片。

金剛線切片機用于晶棒切片工序，通過此道工序晶棒被切成0.145mm左右的薄片。金剛線切片機的主輥上均勻布滿金剛線，主輥帶動金剛線做高速往復運動，晶棒以一定速度向金剛線線網做進給運動，金剛線上的金剛石顆粒對晶棒進行往復摩擦，生產出所需厚度的單晶硅薄片。往復切割過程中，如果金剛線張力變化過于頻繁，張力變化幅值過大，非常容易導致金剛線斷線，造成極大的原材料浪費并影響硅片質量。因此準確測量金剛線張力和控制金剛線張力是評價切片機的重要指標。

線鋸張力測量裝置的工作環境存在大量的切割液、硅泥和硅粉，如果這些物質進入張力測量裝置內部可能導致張力測量裝置的電路故障、測量精度下降等結果，導致線鋸張力控制效果下降，嚴重影響切片質量。這種設計的可能性，有利于信號處理。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足，提供一種將傳感器信號處理電路與測量裝置設計成一體，能減少硅泥及切割液進入的張力測量裝置。為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種帶迷宮密封的線鋸張力測量裝置，包括傳感器安裝座、傳感器軸、傳感器后蓋、軸承安裝座、軸承、軸承內壓蓋、軸承外壓蓋、張力傳感器、張力測量導輪、傳感器信號處理電路板；

所述傳感器安裝座的底部設有凸臺，傳感器后蓋通過螺釘與傳感器安裝座配合密封，且在凸臺和傳感器后蓋之間留有空隙(環形空間)；所述傳感器信號處理電路板通過螺釘固定在傳感器安裝座的凸臺上，使傳感器信號處理電路板置于傳感器安裝座與傳感器后蓋之間；傳感器安裝座頂部設有一階梯形臺階，并與軸承安裝座裝配形成迷宮間隙；

所述軸承安裝座內裝有兩個軸承，軸承內壓蓋通過螺釘(內六角圓柱頭螺釘B)將軸承內圈壓緊，軸承外壓蓋與軸承安裝座開有對應螺紋孔，軸承外壓蓋通過螺釘將軸承外圈壓緊；

所述傳感器軸為階梯軸，傳感器軸的中間挖空并安裝有張力傳感器；傳感器軸的底部徑向開有凹槽并與傳感器安裝座配合，傳感器軸的頂部穿過軸承安裝座并嵌套在軸承的內圈中；所述張力測量導輪裝在軸承安裝座上，并利用螺釘(內六角圓柱頭螺釘A)固定；

所述傳感器信號處理電路板和張力傳感器都在市場購買，張力傳感器為定制型號，張力傳感器型號為563SST1，張力傳感器廠家為ANYLOAD；

所述傳感器后蓋開有兩個通孔，壓縮空氣接口和傳感器接口分別穿過傳感器后蓋的對應通孔，并利用螺母固定；傳感器接口用于張力傳感器的信號輸出；壓縮空氣能通過壓縮空氣接口進入傳感器后蓋(到傳感器信號處理電路板)，再從傳感器后蓋內部吹入傳感器軸(到張力傳感器)，再從傳感器軸吹到迷宮密封，并由迷宮密封最后吹出。

作為進一步的改進，所述軸承采用深溝球軸承。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：