[實用新型]硅片表面清洗裝置

有效

• 申請號: 201721390652.6
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN207250472U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 黃于于
• 申請（專利權）人: 清遠市德晟嘉恒能源環保工程有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙)50217
• 代理人: 王典彪

技術領域

本實用新型涉及對液體或被凈化物體進行附加處理的裝置領域，具體涉及一種硅片表面清洗裝置。

背景技術

硅片是太陽能電池片的載體，硅片質量的好壞直接決定了太陽能電池片轉換效率的高低。單晶硅絨面的制備是生產太陽能電池片的必要工序，利用硅的各向異性腐蝕，在每平方厘米硅表面形成幾百萬個四面方錐體也即金字塔結構。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提高了電池的短路電流和轉換效率。在制備絨面前，硅片須先進行初步表面腐蝕，在腐蝕絨面后，進行一般的化學清洗。

現有的清洗裝置一般需要將硅片放入清洗框內，硅片與清洗框接觸的部位難以清洗干凈，使得洗完的硅片表面上留有污斑，造成硅片局部清洗不干凈的現象，從而影響硅片的質量。也有部分清洗裝置設置了多個尖端在支撐硅片，以減少與硅片的接觸面積，但是這就容易使得硅片表面被劃傷。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片表面清洗裝置，該裝置在對硅片進行清洗時，可以減少硅片的劃傷而且清洗效果好。

為達到上述目的，本實用新型的基礎方案如下：硅片表面清洗裝置，包括盛有清洗液的清洗槽，還包括清洗框、連桿、第一傘齒輪、第二傘齒輪和曲軸，所述清洗框位于清洗槽內，所述清洗框由底網和四個隔網構成，所述底網的橫截面為正弦波形，所述清洗槽側部設有電機，所述電機的輸出軸與曲軸連接，所述曲軸的曲軸頸與連桿的一端轉動連接，連桿另一端與清洗框上部轉動連接，所述曲軸的連桿軸頸與第一傘齒輪固定連接，所述第一傘齒輪與第二傘齒輪嚙合，所述第二傘齒輪連接有攪拌軸，所述攪拌軸連接有攪拌葉片，所述攪拌葉片位于清洗液內。

采用本基礎方案時，將待清洗的硅片放置在清洗框內，并確保清洗框浸沒在清洗液內。底網的橫截面為正弦波線，則底網的與硅片的接觸面積變小，使得硅片與清洗液的接觸面積變大，而且底網的橫截面為正弦波形，則硅片與底網接觸時不會對硅片造成劃傷。啟動電機，電機驅動曲軸轉動。因為連桿一端與曲軸的曲軸頸轉動連接，連桿的另一端與清洗框連接。則在電機驅動曲軸轉動時，清洗框在曲軸和連桿的作用下會帶動硅片上下移動，與清洗槽內的清洗也產生相對運動，利于硅片的清洗。因為第一傘齒輪與第二傘齒輪嚙合，曲軸在轉動時，會通過第一傘齒輪與第二傘齒輪帶動攪拌軸轉動，攪拌軸轉動會帶動攪拌葉片轉動對清洗也進行攪拌，使清洗液轉動。清洗液的轉動配合硅片的上下移動，使清洗液對硅片有較強的沖擊，清洗效果更好。

優選方案一：作為基礎方案的優選方案，所述清洗槽內設有溫度傳感器，在對硅片進行清洗時，需要保證清洗液的溫度，而溫度傳感器方便對清洗液的溫度進行檢測。

優選方案二：作為優選方案一的優選方案，所述清洗槽底部設有加熱結構，方便對清洗液進行加熱。

優選方案三：作為基礎方案的優選方案，所述清洗槽內設有Ph檢測器，清洗槽內應是堿性環境，需要控制清洗槽內的Ph值，而Ph檢測器可以實時檢測清洗槽內的Ph值。

優選方案四：作為基礎方案的優選方案，所述隔網的截面為正弦波形，避免隔網對硅片造成劃傷。

附圖說明

圖1是本實用新型硅片表面清洗裝置實施例的結構示意圖。

具體實施方式

下面通過具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

說明書附圖中的附圖標記包括：清洗槽1、清洗框2、底網3、隔網4、連桿5、曲軸頸6、連桿軸頸7、第一傘齒輪8、第二傘齒輪9、攪拌軸10、攪拌葉片11、電機12、溫度傳感器13。

實施例基本如附圖1所示：硅片表面清洗裝置，包括盛有清洗液的清洗槽1，還包括清洗框2、連桿5、第一傘齒輪8、第二傘齒輪9和曲軸，清洗框2位于清洗槽內，清洗框2由底網3和四個隔網4構成，底網3的橫截面為正弦波形，隔網4的截面為正弦波形。清洗槽側部設有電機12，電機12的輸出軸與曲軸連接，曲軸的曲軸頸6與連桿5的一端轉動連接，連桿5另一端與清洗框2上部轉動連接，曲軸的連桿軸頸7與第一傘齒輪8固定連接，第一傘齒輪8與第二傘齒輪9嚙合，第二傘齒輪9連接有攪拌軸10，攪拌軸10連接有攪拌葉片11，攪拌葉片11位于清洗液內。