[實用新型]一種水冷套液壓提升系統有效
| 申請號: | 201721390456.9 | 申請日: | 2017-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN207404760U | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發明(設計)人: | 李朝陽;黃永恩;張志耀;王福仲;張志遠;羅曉雨 | 申請(專利權)人: | 河北寧通電子材料有限公司 |
| 主分類號: | B66F3/25 | 分類號: | B66F3/25;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 石家莊元匯專利代理事務所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人: | 張建茹 |
| 地址: | 055550 河北*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 水冷套 液壓柱 液壓系統 導流筒 液壓提升系統 升降自由度 熱系統 下端 單晶硅生產設備 本實用新型 生產效率 熱場 下爐 配合 節約 生產 | ||
本實用新型公開了一種水冷套液壓提升系統,屬于單晶硅生產設備技術領域,系統包括設置在導流筒內部的水冷套,導流筒上固定有與液壓系統連接的第一液壓柱,第一液壓柱的下端與位于水冷套下方的熱系統固定連接,導流筒借助液壓系統與第一液壓柱的配合具有升降自由度,關鍵是:所述的水冷套上固定有與液壓系統連接的第二液壓柱,第二液壓柱的下端也與熱系統固定連接,水冷套借助液壓系統與第二液壓柱的配合具有升降自由度。可以單獨提升水冷套,不會影響下爐熱場溫度,不會耽誤正常生產,大大提高了生產效率,節約了成本。
技術領域
本實用新型屬于單晶硅生產設備技術領域,涉及到一種水冷套液壓提升系統。
背景技術
隨著拉晶技術的進步,水冷套應運而生,水冷套安裝在熱系統上部的導流筒內,在拉晶過程中通過水冷套內的冷卻水循環可以帶走單晶生長時的結晶潛熱,使單晶快速冷卻,大幅提高單晶生長速度。但是水冷套安裝在熱系統上部,拆爐時只有通過導流筒提升帶起水冷套才能進行作業,提升導流筒會影響下爐熱場溫度,耽誤正常生產,因此如何單獨提升水冷套成為研究課題。
發明內容
本實用新型為了克服現有技術的缺陷,設計了一種水冷套液壓提升系統,可以單獨提升水冷套,不會影響下爐熱場溫度,不會耽誤正常生產,大大提高了生產效率,節約了成本。
本實用新型所采取的具體技術方案是:一種水冷套液壓提升系統,包括設置在導流筒內部的水冷套,導流筒上固定有與液壓系統連接的第一液壓柱,第一液壓柱的下端與位于水冷套下方的熱系統固定連接,導流筒借助液壓系統與第一液壓柱的配合具有升降自由度,關鍵是:所述的水冷套上固定有與液壓系統連接的第二液壓柱,第二液壓柱的下端也與熱系統固定連接,水冷套借助液壓系統與第二液壓柱的配合具有升降自由度。
所述的水冷套上端面設置有向外凸出的定位沿,定位沿外徑等于導流筒上端面的外徑,水冷套借助定位沿搭放在導流筒上,第二液壓柱的上端與定位沿的外壁固定連接。
所述的導流筒外壁上固定有第一定位架,導流筒外側還設置有第二定位架,第二定位架的上端與水冷套的定位沿固定連接,第一液壓柱和第二液壓柱的上端都固定有定位座,第一液壓柱的上端借助定位座與第一定位架固定連接,第二液壓柱的上端借助定位座與第二定位架的下端固定連接。
所述水冷套的定位沿外壁上固定有上定位板,導流筒側壁上與上定位板相對應的位置設置有下定位板,上定位板與下定位板之間有豎直設置的支撐彈簧,支撐彈簧的上、下端都固定有帶外螺紋的連接柱,上端的連接柱穿過上定位板后與上螺母鎖緊固定,下端的連接柱穿過下定位板后與下螺母鎖緊固定,支撐彈簧的自然長度大于等于水冷套與導流筒的高度之和。
所述的上螺母和下螺母的數量都是兩個,兩個上螺母的旋緊方向相反形成為唐氏螺紋防松結構,兩個下螺母的旋緊方向相反也形成為唐氏螺紋防松結構。
所述的上定位板的數量為兩個,第二液壓柱的數量為一個,上定位板與第二液壓柱一起形成為水冷套的三角形支撐結構。
所述的水冷套外壁上設置有潤滑層,潤滑層的厚度為1-2mm。
本實用新型的有益效果是:增設第二液壓柱,第二液壓柱的上端與水冷套固定連接、下端與熱系統固定連接,在液壓系統的作用下,利用第二液壓柱可以單獨提升水冷套,不會影響下爐熱場溫度,不會耽誤正常生產,大大提高了生產效率,節約了成本。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖。
附圖中,1代表水冷套,2代表第一液壓柱,3代表第二液壓柱,4代表第一定位架,5代表第二定位架,6代表定位座,7代表上定位板,8代表下定位板,9代表支撐彈簧,10代表連接柱,11代表上螺母,12代表下螺母,13代表導流筒。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施例對本實用新型做詳細說明:
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