[實用新型]真空傳輸設備、多工作機構系統及多真空傳輸設備系統

有效

• 申請號: 201721385127.5
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN207405232U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 曹京星
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;洪余節

1.一種真空傳輸設備，其特征在于，包括：

外殼體，所述外殼體的內部設置有真空腔室；

第一驅動件，位于所述真空腔室的外部；

第一磁流體設備，包括第一磁流體軸，所述第一磁流體軸的一端位于所述真空腔室的外部，所述第一磁流體軸的另一端伸入所述真空腔室內，所述第一磁流體軸能繞自身中心軸進行旋轉；

第一傳輸組件，位于所述真空腔室的外部，所述第一傳輸組件的輸入端與所述第一驅動件連接，所述第一傳輸組件的輸出端與所述第一磁流體軸位于所述真空腔室的外部的一端連接；

第二傳輸組件，位于所述真空腔室內，所述第二傳輸組件的輸入端與所述第一磁流體軸伸入所述真空腔室內的一端連接；

摩擦輪，位于所述真空腔室內，所述摩擦輪連接在所述第二傳輸組件的輸出端。

2.根據權利要求1所述的真空傳輸設備，其特征在于，所述第一驅動件為電機。

3.根據權利要求1所述的真空傳輸設備，其特征在于，所述第一傳輸組件包括第一帶輪、第二帶輪和皮帶，所述第一帶輪與所述第一驅動件的輸出軸連接，所述第二帶輪與所述第一磁流體軸位于所述真空腔室的外部的一端連接，所述第一帶輪和所述第二帶輪通過所述皮帶傳動連接。

4.根據權利要求1所述的真空傳輸設備，其特征在于，還包括第二磁流體設備，所述第二磁流體設備包括第二磁流體軸，所述第二磁流體軸的一端位于所述真空腔室的外部，所述第二磁流體軸的另一端伸入所述真空腔室內，所述第二磁流體軸能繞自身中心軸旋轉；

還包括擺動驅動組件，所述擺動驅動組件包括第二驅動件、轉動臂和擺臂，所述第二驅動件和所述轉動臂位于所述真空腔室的外部，所述擺臂位于所述真空腔室內；

所述轉動臂的一端與所述第二驅動件轉動連接，所述轉動臂的另一端與所述第二磁流體軸位于所述真空腔室的外部的一端固定連接，所述擺臂的一端與所述第二磁流體軸位于所述真空腔室內的一端固定連接；所述摩擦輪連接于所述擺臂的另一端。

5.根據權利要求4所述的真空傳輸設備，其特征在于，所述第二傳輸組件包括第一鏈輪、第二鏈輪、第三鏈輪、鏈條和連接軸；

所述第一鏈輪與所述第一磁流體軸伸入所述真空腔室內的一端連接；所述第二鏈輪轉動套設于所述第二磁流體軸上，所述第三鏈輪固定套設于所述連接軸上；所述摩擦輪連接在所述連接軸上；

所述第一鏈輪、所述第二鏈輪和所述第三鏈輪通過所述鏈條連接。

6.根據權利要求4所述的真空傳輸設備，其特征在于，所述第二驅動件為氣缸。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的真空傳輸設備，其特征在于，所述摩擦輪包括芯軸和彈性包覆層，所述彈性包覆層包覆于所述芯軸的外表面上。

8.一種多工作機構系統，其特征在于，包括：

多個工作機構，多個所述工作機構均位于真空環境中；

權利要求1至7中任一項所述真空傳輸設備，所述真空傳輸設備能移動至與多個工作機構中的任一個相配合。

9.一種多真空傳輸設備系統，其特征在于，包括：

多個權利要求1至7中任一項所述的真空傳輸設備；

工作機構，所述工作機構位于真空環境中，所述工作機構能移動至與多個所述真空傳輸設備中的任一個相配合。