[實用新型]多晶硅生產系統

有效

• 申請號: 201721384008.8
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN207347177U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 張金寶;方紅承;方仕林;魯瑞堯;隋寶勛;張龍善;張龍
• 申請（專利權）人: 新疆合晶能源科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種多晶硅生產系統，包括三氯氫硅添加裝置、氫氣添加裝置、靜態混合器和還原爐，所述三氯氫硅添加裝置的出口與靜態混合器的入口連通，所述氫氣添加裝置的出口與靜態混合器的入口連通，所述靜態混合器的出口與還原爐的入口連通，其特征在于，還包括二氯二氫硅添加裝置，所述二氯二氫硅添加裝置的出口與靜態混合器的入口連通，所述二氯二氫硅添加裝置，包括二氯二氫硅儲罐、二氯二氫硅輸送泵和尾氣換熱器，所述二氯二氫硅儲罐內的二氯二氫硅依次經二氯二氫硅輸送泵和尾氣換熱器后進入靜態混合器，所述還原爐產生的尾氣流入尾氣換熱器，所述尾氣換熱器與靜態混合器連接的管道上設置二氯二氫硅調節閥。

2.根據權利要求1所述的多晶硅生產系統，其特征在于，所述三氯氫硅添加裝置，包括三氯氫硅汽化器和三氯氫硅過熱器，三氯氫硅依次經三氯氫硅汽化器和三氯氫硅過熱器后進入靜態混合器。

3.根據權利要求1所述的多晶硅生產系統，其特征在于，所述氫氣添加裝置，包括氫氣預熱器，氫氣經該氫氣預熱器后進入靜態混合器。

4.根據權利要求1、2或3所述的多晶硅生產系統，其特征在于，所述靜態混合器為多個，且每個靜態混合器的出口均對應與一個還原爐的入口連通，且尾氣換熱器與每個靜態混合器連通的管道上均設置二氯二氫硅調節閥。

5.根據權利要求4所述的多晶硅生產系統，其特征在于，所述三氯氫硅添加裝置的入口還與第一精餾裝置連通。

6.根據權利要求4所述的多晶硅生產系統，其特征在于，所述二氯二氫硅添加裝置的入口與第二精餾裝置連通。