[實用新型]超導腔整腔表面化學緩沖全自動拋光系統

有效

• 申請號: 201721383329.6
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN207347661U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 游志明;何源;熊平然;郭浩;李璐
• 申請（專利權）人: 中國科學院近代物理研究所
• 主分類號: C23F3/06
• 分類號: C23F3/06;C23F1/08
• 代理公司: 蘭州振華專利代理有限責任公司 62102
• 代理人: 張真

1.一種超導腔整腔表面化學緩沖全自動拋光系統，其特征是包括混酸槽，混酸槽上端通過管路與制冷機組相連，混酸槽內設置有熱交換器，混酸槽下端通過管路與酸液輸送泵相連，酸液輸送泵通過管路與過濾器相連，過濾器通過管路與超導腔下端和超純水水泵相連，超純水水泵通過管路與超純水水箱相連，超導腔上端通過管路分別與混酸槽上端和觀察窗相連，高純氮氣罐通過管路與混酸槽與超導腔之間的管路相連。

2.如權利要求1所述的超導腔整腔表面化學緩沖全自動拋光系統，其特征在于：所述的拋光設備的混酸槽與制冷機組之間的管路上設置有冷水閥；混酸槽上設置有第二液位計探頭和溫度探頭，所述的酸液輸送泵與過濾器之間的管路上依次設置有流量計和供酸閥，酸液輸送泵、第一攪拌閥和第二攪拌閥通過管路構成混酸槽的混酸循環回路；混酸槽上端與超導腔上端的管路上依次設置有第三隔離閥、回酸閥、壓力傳感器和第二隔離閥；所述的高純氮氣罐上端通過輸出管路與壓力傳感器與第二隔離閥之間的管路相連，高純氮氣罐的輸出管路上設置有氣體高壓閥和氮氣控制閥；所述的觀察窗上設置有第一液位計探頭，觀察窗下端與超導腔上端相連的管路上設置有液位控制閥，超導腔下端管路上設置有腔體進液閥，超導腔下端通過設置有第一隔離閥的管路接排放閥，超導腔上端通過設置有沖洗閥的管路接排放閥，冷卻噴淋閥設置在超導腔上部的冷卻管路上；所述的過濾器上端管路上設置有進酸閥，超純水水泵前端的管路上設置有純水閥；所述的回酸閥和第三隔離閥之間的管路通過管路接循環閥一端，循環閥另一端通過管路接第一攪拌閥和第一隔離閥之間。