[實用新型]一種高壓平面閘流管器件有效

申請號：	201721380929.7	申請日：	2017-10-25
公開（公告）號：	CN207529937U	公開（公告）日：	2018-06-22
發明（設計）人：	許志峰;周健	申請（專利權）人：	啟東吉萊電子有限公司
主分類號：	H01L29/74	分類號：	H01L29/74;H01L21/332
代理公司：	南京正聯知識產權代理有限公司 32243	代理人：	盧海洋
地址：	226200 江蘇省南***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	硅片玻璃鈍化區閘流管器件短基區本實用新型分壓環背面聚酰亞胺保護膜高工作電壓漏電玻璃鈍化鈍化玻璃陽極電極陰極電極隔離區截止環失效率電極場板穿通鈍化多層門極對稱隔離
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【權利要求書】：

1.一種高壓平面閘流管器件，其特征在于：包括N型FZ硅片，所述N型FZ硅片的背面設有PWELL區，所述PWELL區的背面設有陽極電極，所述N型FZ硅片的四周環設有與PWELL區連通的P型隔離區，所述N型FZ硅片的正面通過SIPOS膜對稱設有玻璃鈍化區，所述玻璃鈍化區的正面設有聚酰亞胺保護膜，所述玻璃鈍化區與N型FZ硅片之間設有分壓環和截止環，所述N型FZ硅片的上部、位于玻璃鈍化區內緣之間的部分設有短基區，所述短基區的上部設有NWELL區，所述NWELL區的正面設有陰極電極，所述短基區正面的一側與鈍化玻璃區之間設有門極電極。

2.根據權利要求1所述的高壓平面閘流管器件，其特征在于：所述分壓環為至少1個，所述截止環為1個，且設于最外側分壓環的外圍。

3.根據權利要求1所述的高壓平面閘流管器件，其特征在于：所述陰極電極與門極電極之間留有間隙。

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