[實(shí)用新型]法拉第杯及離子注入裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721380751.6
• 申請(qǐng)日: 2017-10-24
• 公開（公告）號(hào): CN207282448U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐瑞龍;倪明明;洪紀(jì)倫;吳宗祐;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/244
• 分類號(hào): H01J37/244;H01J37/317
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種法拉第杯，包括杯體、以及置于由所述杯體形成的容納空間中的石墨，其特征在于，還包括傳感器和控制器；所述傳感器置于所述杯體外側(cè)，用于檢測所述傳感器與所述石墨之間的距離；所述控制器，連接所述傳感器，用于根據(jù)所述傳感器與所述石墨之間的距離計(jì)算所述石墨的厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述傳感器為紅外測距傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述杯體上具有一離子入口，所述離子入口與所述石墨位于所述容納空間的兩相對(duì)端；所述傳感器正對(duì)所述離子入口設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述控制器以一預(yù)設(shè)時(shí)間間隔周期性的向所述傳感器發(fā)送檢測指令，所述傳感器根據(jù)接收到的檢測指令進(jìn)行所述傳感器與所述石墨之間距離的檢測。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的法拉第杯，其特征在于，所述預(yù)設(shè)時(shí)間間隔為4小時(shí)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述控制器中存儲(chǔ)有所述石墨的初始厚度、以及所述傳感器與所述石墨之間的初始距離，所述控制器根據(jù)所述石墨的初始厚度、初始距離以及檢測到的所述傳感器與石墨之間的當(dāng)前距離計(jì)算石墨當(dāng)前厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯還包括一與所述杯體連接的支架，所述傳感器連接于所述支架上，以固定所述傳感器與所述杯體的相對(duì)位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的法拉第杯，其特征在于，所述傳感器可拆卸的連接于所述支架上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯還包括一報(bào)警器；所述報(bào)警器，連接所述控制器，用于在所述石墨的厚度小于預(yù)設(shè)值時(shí)發(fā)出警報(bào)。

10.一種離子注入裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的法拉第杯。