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[實用新型]一種多功能氣體配比裝置有效

專利信息
申請號: 201721371556.7 申請日: 2017-10-19
公開(公告)號: CN207430231U 公開(公告)日: 2018-06-01
發明(設計)人: 宋華 申請(專利權)人: 廣西華大驕陽能源環保科技有限公司
主分類號: B01F15/04 分類號: B01F15/04;B01F15/02;B01F13/06
代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200 代理人: 閔岳峰
地址: 531599 廣西壯族自治區*** 國省代碼: 廣西;45
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 球閥 減壓閥 多功能氣體 質量流量計 吹掃管路 配比裝置 氣態混合 氣體流量 氮氣 氣體配比裝置 本實用新型 氣源壓力表 控制系統 氣體吹掃 氣體混合 氣體類型 氣體旁路 氣體配比 單向閥 連接球 旁路 氣源 置換 輸出 補充
【權利要求書】:

1.一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,包括氣體吹掃部分、五路氣路和氣體混合部分;其中,

氣體吹掃部分包括第一壓差反吹裝置(176)、第二壓差反吹裝置(177)和第三壓差反吹裝置(178),用于對五路氣路的每一路氣路進行吹掃;

五路氣路中,每一路氣路均包括氣源控制部分和氣體配比部分;

第一路氣路的入口分別連通有二氧化碳氣瓶(101)和一氧化氮氣瓶(102),第一路氣路的管道上設置有壓力控制閥和第一質量流量計(118);

第二路氣路的入口連通有二氧化硫氣瓶(103),第二路氣路的管道上設置有壓力控制閥和第二質量流量計(130);

第三路氣路的入口連通有氨氣氣瓶(104),第三路氣路的管道上設置有壓力控制閥和第三質量流量計(142);

第四路氣路的入口分別連通有氧氣氣瓶(105)和一氧化碳氣瓶(106),第四路氣路的管道上設置有壓力控制閥和第四質量流量計(154);

第五路氣路的入口分別連通有氮氣氣瓶(107)和氫氣氣瓶(108),第五路氣路的管道上設置有壓力控制閥和第五質量流量計(165);

氣體混合部分包括氣態混合罐(109),五路氣路的出口均連通至氣態混合罐(109)的入口。

2.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,氣體吹掃部分中的第一壓差反吹裝置(176)出口處、第二壓差反吹裝置(177)出口處和第三壓差反吹裝置(178)出口處均設置有球閥。

3.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,第一路氣路的入口處設置有第一過濾器(113),第二路氣路的入口處設置有第二過濾器(125),第三路氣路的入口處設置有第三過濾器(137),第四路氣路的入口處設置有第四過濾器(149),第五路氣路的入口處設置有第五過濾器(160)。

4.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,第一路氣路的管道上壓力控制閥為第一壓力控制閥(115)和第二壓力控制閥(119),分別設置在第一質量流量計(118)的入口處和出口處;

第二路氣路的管道上壓力控制閥為第三壓力控制閥(127)和第四壓力控制閥(131),分別設置在第二質量流量計(130)的入口處和出口處;

第三路氣路的管道上壓力控制閥為第五壓力控制閥(139)和第六壓力控制閥(143),分別設置在第三質量流量計(142)的入口處和出口處;

第四路氣路的管道上壓力控制閥為第七壓力控制閥(151)和第八壓力控制閥(155),分別設置在第四質量流量計(154)的入口處和出口處;

第五路氣路的管道上壓力控制閥為第九壓力控制閥(162)和第十壓力控制閥(166),分別設置在第五質量流量計(165)的入口處和出口處。

5.根據權利要求4所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,第一壓力控制閥(115)的入口處和出口處分別設置有第一壓力表(114)和第二壓力表(116);

第三壓力控制閥(127)的入口處和出口處分別設置有第三壓力表(126)和第四壓力表(128);

第五壓力控制閥(139)的入口處和出口處分別設置有第五壓力表(138)和第六壓力表(140);

第七壓力控制閥(151)的入口處和出口處分別設置有第七壓力表(150)和第八壓力表(152);

第九壓力控制閥(162)的入口處和出口處分別設置有第就壓力表(161)和第十壓力表(163)。

6.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,第一路氣路的出口處設置有第一單向閥(122),第二路氣路的出口處設置有第二單向閥(134),第三路氣路的出口處設置有第三單向閥(146),第四路氣路的出口處設置有第四單向閥(158),第五路氣路的出口處設置有第五單向閥(169)。

7.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,五路氣路中,每一路氣路的管道上均設置有若干個球閥。

8.根據權利要求1所述的一種多功能氣體配比裝置,其特征在于,氣態混合罐(109)的入口處和出口處均設置有球閥。

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