[實用新型]一種超大晶體快速生長裝置有效
| 申請號： | 201721366541.1 | 申請日： | 2017-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN207313742U | 公開（公告）日： | 2018-05-04 |
| 發明（設計）人： | 李中波;唐華純 | 申請（專利權）人： | 上海御光新材料科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/00 | 分類號： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201807 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 超大 晶體 快速 生長 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種超大晶體快速生長裝置，其特征在于，包括：
爐體，所述爐體包括位于上部的高溫區、中部的中溫區以及下部的低溫區，所述爐體內設置有爐膛；
設置在爐體底部的鐵板平臺；
位置于爐膛內的坩堝；
所述爐膛內豎直固定設置耐火管，所述坩堝放置在所述耐火管內；
流體冷卻裝置，所述流體冷卻裝置與所述爐體連接；
設置在所述爐體下方的升降裝置，包括支架、垂直升降桿，電機，垂直升降桿垂直設置在支架上，所述坩堝垂直固定設置在垂直升降桿上，所述電機與垂直升降桿連接，以控制垂直升降桿的升降，進而控制坩堝在所述高溫區與所述低溫區之間往復運動。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述耐火管為陶瓷管。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：所述爐體外周側的加熱裝置，所述加熱裝置包括位于高溫區內的高溫發熱絲及位于中溫區的中溫發熱絲。
4.根據權利要求1至3之一所述的裝置，其特征在于，所述加熱裝置在所述高溫區和所述中溫區均設置有控溫熱電偶。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述流體冷卻裝置包括：充氣泵、充氣閥、噴嘴，所述充氣泵與充氣閥連接，所述噴嘴設置在所述爐體內并位于爐體低溫區，所述充氣閥與噴嘴連接。
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