[實用新型]一種SiC沉積固定裝置

有效

• 申請號: 201721351323.0
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN207418860U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 白秋云
• 申請（專利權）人: 成都超純應用材料有限責任公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C14/50
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務所(普通合伙) 51217
• 代理人: 薛波

1.一種SiC沉積固定裝置，其特征在于，包括圓形托盤(1)，圓形托盤(1)中間設置有沿圓形托盤(1)軸向的用于放置產品(5)的通孔部，圓形托盤(1)的一側端面上設置有內徑大于所述通孔部的轉盤軸承(2)，轉盤軸承(2)的外圓周上設置有外齒部，轉盤軸承(2)的外圓周設置有一與外齒部嚙合的驅動齒輪(4)、一鎖定所述外齒部的鎖定機構(6)以及至少三個與外齒部嚙合的從動輪(3)，所述從動輪(3)與設置在圓形托盤(1)中的第一錐齒輪(11)同軸固定，圓形托盤(1)中還設置有與第一錐齒輪(11)嚙合的第二錐齒輪(8)，所述的圓形托盤(1)中設置有沿通孔部徑向布置的通道部(10)，所述通道部(10)中設置有用于沿通孔部軸向徑向伸出的鎖定桿(9)，所述的第二錐齒輪(8)設置在所述的通道部(10)中且與鎖定桿(9)采用螺母螺桿傳動結構驅動所述的鎖定桿(9)沿通道部(10)移動。

2.根據權利要求1所述的SiC沉積固定裝置，其特征在于，所述的鎖定桿(9)端部設置有膠墊部件。

3.根據權利要求1所述的SiC沉積固定裝置，其特征在于，所述的驅動齒輪(4)上設置有用于手動旋轉的旋鈕結構。

4.根據權利要求1所述的SiC沉積固定裝置，其特征在于，所述的驅動齒輪(4)采用電動驅動。

5.根據權利要求1所述的SiC沉積固定裝置，其特征在于，所述的鎖定機構(6)包括固定安裝在圓形托盤(1)上的套管，套管中設置有用于插入齒間的鎖定銷軸，套管內設置有保持鎖定銷軸伸出的彈簧。