[實(shí)用新型]一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721351311.8 | 申請(qǐng)日: | 2017-10-19 |
| 公開(公告)號(hào): | CN207233712U | 公開(公告)日: | 2018-04-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鐘清海 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 四川英發(fā)太陽(yáng)能科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙)51220 | 代理人: | 廖慧敏 |
| 地址: | 610000 四川省成都市中國(guó)(四川)自*** | 國(guó)省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 裝置 擴(kuò)散 自動(dòng) 插片機(jī)上料 設(shè)備 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及機(jī)械領(lǐng)域,具體涉及太陽(yáng)能電池片制造設(shè)備,具體是指一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備。
背景技術(shù)
硅片自動(dòng)插片機(jī)是在硅片清洗過程中用于將硅片插入清洗籃的設(shè)備。硅片自動(dòng)插片機(jī)的上料裝置是其重要機(jī)構(gòu)之一,現(xiàn)有市場(chǎng)上的硅片自動(dòng)插片機(jī),其是將硅片置于放片工裝中,放片工裝置于水中,然后通過上料裝置將硅片移出水面,并通過與上料裝置相連的進(jìn)料裝置將硅片移送至清洗籃中,進(jìn)料裝置為水平布置的輸送線,而上料裝置的石英舟在操作中很容易因?yàn)檎J(rèn)為的原因未放到位而導(dǎo)致石英舟被壓碎。
基于此,研究開發(fā)了一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備,主要針對(duì)現(xiàn)有的石英舟上料設(shè)備,上料放置石英舟的過程中,由于石英舟與定位柱之間的距離放置不合適,存在較大距離,未夾緊,則可能出現(xiàn)由于石英舟放置不合適,損壞石英舟的問題,通過在上料籃的擋板上設(shè)置接近開關(guān)、定位塊等結(jié)構(gòu),來(lái)對(duì)石英舟與定位柱之間的距離進(jìn)行定位,便于后期對(duì)石英舟的轉(zhuǎn)運(yùn)、洗片等。
本實(shí)用新型通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備,包括用于放置石英舟的上料籃,上料籃的兩側(cè)均設(shè)有擋板,擋板上設(shè)有定位柱,且定位柱延伸到擋板外,定位柱的下側(cè)連接設(shè)有支撐板,支撐板的內(nèi)側(cè)與擋板固定連接,支撐板的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)橫截面為長(zhǎng)方形的延伸腳,每個(gè)延伸腳上均設(shè)有一個(gè)接近開關(guān),接近開關(guān)用于檢測(cè)石英舟與定位柱之間的距離。
優(yōu)選地,所述上料籃為上端開口的槽體結(jié)構(gòu),上料籃內(nèi)裝設(shè)有多個(gè)呈重疊分布的石英舟。
優(yōu)選地,所述上料籃的內(nèi)側(cè)設(shè)有定位塊。
優(yōu)選地,所述定位塊的個(gè)數(shù)為四個(gè)。
優(yōu)選地,所述定位塊的分布在石英舟的兩側(cè),所述定位塊位于上料籃的側(cè)邊與定位柱所在側(cè)邊相互垂直。
優(yōu)選地,所述定位塊與上料籃的側(cè)邊螺紋連接。
優(yōu)選地,所述定位快快與上料籃的側(cè)邊可拆卸連接。
優(yōu)選地,所述上料籃安裝在平臺(tái)上。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下的優(yōu)點(diǎn)和有益效果:
(1)本技術(shù)方案在上料籃的擋板上設(shè)置支撐板,支撐板的內(nèi)側(cè)與擋板連接,且支撐板的上端與定位柱連接,定位柱與上料籃之間的石英舟保持一定距離,在支撐板上設(shè)置接近開關(guān),為了確保石英舟放置過程中緊密重疊排布,避免由于與上料籃的側(cè)邊存在空腔,在移動(dòng)過程中避免對(duì)石英舟造成損壞,因此設(shè)置接近開關(guān)對(duì)定位柱與石英舟之間的距離進(jìn)行調(diào)整。
(2)本技術(shù)方案中通過在上料籃內(nèi)設(shè)置定位塊,對(duì)上料籃內(nèi)放置的石英舟進(jìn)行固定,防止其在運(yùn)輸過程中,發(fā)生移動(dòng),避免對(duì)石英舟的損壞。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖;
圖2為本實(shí)用新型中上料籃的結(jié)構(gòu)示意圖;
其中:1—定位柱、2—擋板、3—延伸腳、4—接近開關(guān)、5—平臺(tái)、6—上料籃、7—石英舟、8—定位塊。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,下面結(jié)合實(shí)施例和附圖,對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施方式及其說(shuō)明僅用于解釋本實(shí)用新型,并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
實(shí)施例1:
如圖1所示,一種具有防碎裝置的擴(kuò)散自動(dòng)插片機(jī)上料設(shè)備,包括用于放置石英舟7的上料籃6,上料籃6的兩側(cè)均設(shè)有擋板2,擋板2上設(shè)有定位柱1,且定位柱1延伸到擋板2外,定位柱1的下側(cè)連接設(shè)有支撐板,支撐板的內(nèi)側(cè)與擋板2固定連接,支撐板的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)橫截面為長(zhǎng)方形的延伸腳3,每個(gè)延伸腳3上均設(shè)有一個(gè)接近開關(guān)4,接近開關(guān)4用于檢測(cè)石英舟7與定位柱1之間的距離。
本實(shí)施例中,涉及到自動(dòng)插片機(jī)主要針對(duì)石英舟自動(dòng)插片機(jī),可理解為用于插入石英舟的設(shè)備,由于石英舟本身具有易碎的特性,因此在后續(xù)的洗片等操作均確保石英舟的安全性。
故本實(shí)施例設(shè)置的這種上料設(shè)備,具體為通過人工操作將石英舟,一般是將多個(gè)個(gè)數(shù)的石英舟疊放在一起置于上料籃6內(nèi),上料籃6的具體結(jié)構(gòu)為上端開口的槽體結(jié)構(gòu),將石英舟置于其中利于傳輸或者搬運(yùn)。
由于常規(guī)上料籃的具體規(guī)格或石英舟7的規(guī)格可能存在不匹配的問題,為了確保安全性,采用在上料籃6結(jié)構(gòu)上設(shè)置接近開關(guān),接近開關(guān)的目的是為了檢測(cè)石英舟是否與定位柱緊貼或夾緊,如果夾緊則可進(jìn)行下一步操作。如果沒有則需要調(diào)整石英舟的放置的位置。
實(shí)施例2:
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





