[實用新型]一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置

有效

• 申請號: 201721349990.5
• 申請日: 2017-10-18
• 公開（公告）號: CN207944166U
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 路建華;陳欽強
• 申請（專利權）人: 青海日晶光電有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張宇

1.一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置，包括單晶爐(1)，其特征在于，所述單晶爐(1)的頂端設有爐蓋(2)，所述單晶爐(1)底端的一側設有第一排氣口(3)，所述第一排氣口(3)與第一排氣管(4)的一端固定連接，所述第一排氣管(4)的另一端與第一真空泵(5)的進氣口固定連接，所述單晶爐(1)底端的另一側設有第二排氣口(7)，所述第二排氣口(7)與第二排氣管(8)的一端固定連接，所述第二排氣管(8)的另一端與第二真空泵(9)的進氣口固定連接，所述第一排氣管(4)的一側與第一銅管(6)的一端固定連接，所述第一銅管(6)的另一端與連接管(11)的一端固定連接，所述第二排氣管(8)的一側與第二銅管(10)的一端固定連接，所述第二銅管(10)的另一端與連接管(11)的另一端固定連接，所述連接管(11)的底端與第三銅管(12)的一端固定連接，所述第三銅管(12)的另一端與空氣泵(14)的出氣口固定連接，所述單晶爐(1)一側的中部設有控制面板，所述控制面板的表面分別設有第一真空泵開關、第二真空泵開關和空氣泵開關，所述第一真空泵(5)通過第一真空泵開關、第二真空泵(9)通過第二真空泵開關和空氣泵(14)通過空氣泵開關均與電源電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置，其特征在于，所述連接管(11)為三通管。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置，其特征在于，所述第一真空泵(5)和第二真空泵(9)的出氣口分別連接有排料管。

4.根據權利要求3所述的一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置，其特征在于，所述排料管的一端安裝有過濾器。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅燃燒過程氣爆除雜裝置，其特征在于，所述第三銅管(12)的中部設有流量計(13)。