[實用新型]一種傳感器芯片有效
| 申請號： | 201721342517.4 | 申請日： | 2017-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN207280996U | 公開（公告）日： | 2018-04-27 |
| 發明（設計）人： | 孫旭輝;吳慶樂;徐紅艷;張平平;張書敏 | 申請（專利權）人： | 蘇州慧聞納米科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙)11391 | 代理人： | 康正德,薛峰 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 傳感器 芯片 | ||
【權利要求書】：
1.一種傳感器芯片，其特征在于，包括：
基底，所述基底的其中一個表面上形成有一凹槽，所述凹槽具有一預設深度；
敏感材料層，其填充在所述凹槽內，且所述敏感材料層的厚度大于或等于所述凹槽的所述預設深度；和
電極材料層，其形成在所述基底的所述表面處，并與所述敏感材料層電連接，用于將所述敏感材料層的電信號傳輸至外電路。
2.根據權利要求1所述的傳感器芯片，其特征在于，所述凹槽構造成從所述基底的所述表面沿著所述基底的厚度方向開設，所述基底的厚度大于所述預設深度。
3.根據權利要求1或2所述的傳感器芯片，其特征在于，所述電極材料層包括：
第一電極層，其具有至少一個形成在所述敏感材料層表面的第一連接端；和
第二電極層，其與所述第一電極層彼此分離，所述第二電極層具有至少一個形成在所述敏感材料層表面的第二連接端。
4.根據權利要求3所述的傳感器芯片，其特征在于，所述第一連接端和所述第二連接端均與所述敏感材料層電連接。
5.根據權利要求4所述的傳感器芯片，其特征在于，所述第一連接端和所述第二連接端均至少部分地覆蓋在所述敏感材料層的表面。
6.根據權利要求1-2、4-5中任一項所述的傳感器芯片，其特征在于，所述敏感材料層的結構為薄膜結構或厚膜結構。
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