[實用新型]一種具有降低Robot溫度構造的化學氣相沉積設備有效
| 申請號： | 201721341396.1 | 申請日： | 2017-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN209555367U | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發明（設計）人： | 許嘉慶;蘇育生 | 申請（專利權）人： | 福建省福聯集成電路有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐劍兵;林祥翔 |
| 地址： | 351117 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氮氣過濾器 機械臂 傳送腔體 化學氣相沉積設備 氮氣 氮氣管路 快速冷卻 一端連接 抽氣泵 抽氣口 本實用新型 底部連接 一端設置 傳送腔 過濾口 圓環狀 產能 受限 套接 對流 冷卻 體內 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有降低Robot溫度構造的化學氣相沉積設備，其特征在于，包括傳送腔體、機械臂、機械臺、機械座、氮氣過濾器、抽氣泵及氮氣管路；
所述機械臂和機械座設置在傳送腔體內，所述機械臂的一端設置在機械座的頂部，所述機械臂的另一端連接機械臺，所述機械座的底部連接于傳送腔體底部；
所述氮氣過濾器為圓環狀，所述氮氣過濾器套接在機械座上，所述氮氣過濾器表面設有過濾口，所述氮氣過濾器連接于氮氣管路；
所處傳送腔體設有抽氣口；
所述抽氣泵的一端連接于傳送腔體的抽氣口。
2.根據權利要求1所述具有降低Robot溫度構造的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述氮氣管路上設有冷卻控制系統。
3.根據權利要求2所述具有降低Robot溫度構造的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述氮氣管路在冷卻控制系統內為S型。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
