[實用新型]太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721332721.8
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207353278U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐建;俞超;李慧;吳俊清;樊華;張子森
• 申請（專利權(quán)）人: 東方環(huán)晟光伏（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 劉暢;徐冬濤

本實用新型公開了一種太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)，包括主槽和儲液罐，在主槽底部開有若干個孔；主槽和副槽的橫截面相同，主槽設(shè)置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部設(shè)置有溢出孔，溢出孔的開孔位置與副槽的放置位置錯開；溢出孔通過細管連接儲液罐，儲液罐的輸出端通過細管連接泵，泵的輸出端通過細管連接副槽。本實用新型是改變槽體的結(jié)構(gòu)，泵將儲液罐抽至副槽，然后副槽滿之后藥液通過主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔細小，藥液進入主槽比較均勻，且泵從儲液罐抽取的空氣經(jīng)過多孔逸出時，無法凝聚成大氣泡，氣泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原橫流管冒氣泡破裂導(dǎo)致硅片的不良。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種太陽能RENA刻蝕機通過槽體改造減少不良品的方法，屬于太陽能刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

刻蝕槽：去除邊緣的結(jié)，防止漏電，硅片采取“水上漂”進行背面腐蝕。

目前刻蝕機的刻蝕槽的使用藥液(還有氫氟酸，硝酸，硫酸，水四種化學(xué)物質(zhì))，RENA刻蝕機通過泵從儲液槽抽液至主槽的橫流管，然后由橫流管上的細孔(細孔是管子的朝下方，以防噴液至主槽時引起液面波動)均勻噴液至主槽，主槽多余的液會通過主槽邊上的外槽流至儲液槽，溶液進行均勻循環(huán)使用。但是泵在抽取儲液槽溶液的時候會帶入一部分空氣進入橫流管，由于空氣聚集越來越多，氣泡會從橫流管的氣孔里冒出來至液面處發(fā)生破碎，氣泡破碎導(dǎo)致藥液波動，引起翻液至硅片正面的上，腐蝕正面，加工至成品引起外觀降級，給公司帶來一定的經(jīng)濟損失。

實用新型內(nèi)容

本實用新型針對背景技術(shù)中存在的問題，提出一種太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)。

技術(shù)方案：

一種太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)，包括主槽和儲液罐，其特征是：在主槽底部開有若干個孔；主槽和副槽的橫截面相同，主槽設(shè)置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部設(shè)置有溢出孔，溢出孔的開孔位置與副槽的放置位置錯開；溢出孔通過細管連接儲液罐，儲液罐的輸出端通過細管連接泵，泵的輸出端通過細管連接副槽。

優(yōu)選的，所述主槽底部全部為孔，孔的直徑為3mm，相鄰孔圓心間距為4.5mm。

優(yōu)選的，所述溢出孔的直徑為7cm。

優(yōu)選的，所述泵的功率為2.2KW。

優(yōu)選的，所述細管的材質(zhì)為PVDF，直徑為6cm。

本實用新型的有益效果

本實用新型是改變槽體的結(jié)構(gòu)，刻蝕主槽內(nèi)取消橫流管，將刻蝕主槽下加一層槽體(副槽)，且將主槽底部改為多個孔的結(jié)構(gòu)，泵將儲液罐抽至副槽，然后副槽滿之后藥液通過主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔細小，藥液進入主槽比較均勻，且泵從儲液罐抽取的空氣經(jīng)過多孔逸出時，無法凝聚成大氣泡，氣泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原橫流管冒氣泡破裂導(dǎo)致硅片的不良。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例對本實用新型作進一步說明，但本實用新型的保護范圍不限于此：

實施例1：一種太陽能rena刻蝕機槽體改造結(jié)構(gòu)，包括主槽1和儲液罐7，在主槽1底部開有若干個孔2；主槽1和副槽3的橫截面相同，主槽1設(shè)置在副槽3之上；所述副槽3放置于外槽4中，在外槽4的底部設(shè)置有溢出孔5，溢出孔5的開孔位置與副槽3的放置位置錯開；溢出孔5通過細管6連接儲液罐7，儲液罐7的輸出端通過細管6連接泵8，泵8的輸出端通過細管6連接副槽3。

優(yōu)選的實施例中：

所述主槽底部全部為孔2，孔2的直徑為3mm，相鄰孔2圓心間距為4.5mm。