[實用新型]溫壓復合傳感器

有效

• 申請號: 201721329577.2
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN207395918U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 雷衛武;曾朋輝
• 申請（專利權）人: 北京中航興盛測控技術有限公司
• 主分類號: G01K7/22
• 分類號: G01K7/22;G01L9/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種溫壓復合傳感器，其特征在于：包括引壓嘴、基座、彈性體、外殼、溫敏電阻。所述彈性體表面通過離子束濺射工藝制造四個薄膜應變電阻形成惠斯通電橋，用于測量介質壓力。所述彈性體表面貼上所述溫敏電阻用于測量介質溫度。由于將濺射薄膜壓力傳感器引壓嘴與基座分開加工，并且，引壓嘴加工有應力隔離槽，傳感器在與介質壓力測量管道連接時，扳手的機械扭矩和變形所產生的較大應力不會傳導至壓力傳感器彈性體上，能確保傳感器的測量精度和長期穩定性，同時增加經濟實用的溫敏電阻用于測量介質溫度。這樣能獲得測量精度高、穩定性好、能同時測量溫度的高性能溫度壓力復合傳感器產品。

技術領域

本實用新型涉及一種壓力傳感器，尤其涉及一種溫度壓力同時測量的溫壓復合傳感器。

背景技術

濺射薄膜壓力傳感器是一種性能優良的壓力傳感器，它具有測量精度高、穩定性好、測量溫度范圍寬、量程范圍大等優點，在航空、航天、軍工、核工業、石化、交通、冶金、食品、醫藥、物聯網等許多領域得到應用。但普通的濺射薄膜壓力傳感器不具備溫度測量功能，或者具備溫度測量功能，但需要在制備壓力敏感功能薄膜的基礎上增加溫度敏感薄膜的制備和光刻工藝，工藝難度高，生產效率低，產品成本高。另外，現有的壓力傳感器引壓嘴和基座一體加工，壓力傳感器在與測量管道連接時，扳手的機械扭矩所產生的應力會迅速傳導至壓力傳感器彈性體上，對傳感器敏感元件產生較大影響，使傳感器測量精度和穩定性大大降低。

然而，在現實的壓力測量領域中，往往在壓力測量的同時需要經濟方便地測量介質溫度。

因此，開發一種具有測量精度高、穩定性好，同時能經濟方便地測量介質溫度、長期可靠工作的溫壓復合傳感器極其重要。

將濺射薄膜壓力傳感器引壓嘴和基座分開加工并設計應力隔離槽，確保扳手的機械扭矩所產生的應力不會傳導至壓力傳感器彈性體上從而保證傳感器長期穩定工作；同時增加經濟實用的溫敏電阻用于測量介質溫度，解決上述存在的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種溫壓復合傳感器，針對現有技術的不足，在保留濺射薄膜壓力傳感器的原有優點外，實現溫度壓力同時測量的目的。

為解決以上技術問題，本實用新型的技術方案是：一種溫壓復合傳感器，其特征在于：包括引壓嘴、基座、彈性體、外殼、溫敏電阻。

所述彈性體表面通過離子束濺射工藝制造四個薄膜應變電阻形成惠斯通電橋，用于測量介質壓力。

所述彈性體表面貼上所述溫敏電阻用于測量介質溫度。

所述引壓嘴中上部外側加工有應力隔離槽，以確保扳手的機械扭矩所產生的應力不會傳導至所述彈性體上從而保證傳感器長期穩定工作。

與現有技術相比，本實用新型所具有的有益效果為：由于將濺射薄膜壓力傳感器引壓嘴與基座分開加工，并且，引壓嘴加工有應力隔離槽，傳感器在與介質壓力測量管道連接時，扳手的機械扭矩和變形所產生的較大應力不會傳導至壓力傳感器彈性體上，能確保傳感器的測量精度和長期穩定性，同時增加經濟實用的溫敏電阻用于測量介質溫度。這樣能獲得測量精度高、穩定性好、能同時測量溫度的高性能溫度壓力復合傳感器產品。

附圖說明

圖1為本實用新型的溫壓復合傳感器的結構示意圖。

圖中：1、引壓嘴，11、引壓孔，12、應力隔離槽，2、基座

3、彈性體，4、外殼，5、溫敏電阻，6、壓力焊盤

13、壓力信號線，14、溫度信號線

具體實施方式