[實用新型]一種運輸晶圓的鎖止結構及提籃

有效

• 申請號: 201721328103.6
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207233716U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 鄧海濤;宋文;段之剛;王利華
• 申請（專利權）人: 成都先進功率半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 四川力久律師事務所51221
• 代理人: 王蕓,熊曉果

1.一種提籃鎖止結構，其特征在于，包括與提籃側板的端面對應設置的活動擋片，活動擋片能沿提籃側板端面滑動，在活動擋片上設有多個與提籃側板上設置的晶圓存取槽對應開設的變位槽，還設有鎖止開關，所述鎖止開關上設有限制活動擋片位置的限位結構。

2.根據權利要求1所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述活動擋片為長條形板狀結構，且活動擋片的長度與提籃側板端面的長度相適應，當鎖止開關鎖定活動擋片的位置時，變位槽與晶圓存取槽相匹配連通。

3.根據權利要求1或2所述的提籃鎖止結構，其特征在于，在活動擋片上還設有側擋條，所述側擋條與活動擋片本體大致垂直，所述變位槽設置在側擋條上。

4.根據權利要求1所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述鎖止開關包括設置在活動擋片短邊側的限位壓板、以及在提籃側板上對應設置的彈性支撐件，所述限位壓板與活動擋片本體大致垂直，還包括在提籃側板與活動擋片上對應設置的鎖止片組件。

5.根據權利要求4所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述鎖止片組件包括在提籃側板和活動擋片上對應設置的卡槽，分別為鎖止片活動槽和鎖止卡槽，在鎖止片活動槽內設有鎖止片。

6.根據權利要求5所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述鎖止片活動槽從提籃側板的內壁面延伸至提籃側板端面，在提籃側板上設與鎖止片活動槽連通的轉動孔，配合轉動件連接鎖止片，使鎖止片能在鎖止片活動槽內轉動。

7.根據權利要求6所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述轉動件為轉動銷，在鎖止片上設有與轉動銷配合的銷孔。

8.根據權利要求4所述的提籃鎖止結構，其特征在于，所述彈性支撐件為彈簧，所述彈簧與轉動銷同向設置。

9.一種運輸晶圓的提籃，其特征在于，包括左側板和右側板，還包括將左側板和右側板連接起來的橫梁和連接柱，在兩個側板的內壁對應設有多條晶圓存取槽，在其中一個側板的端部還配設有如權利要求1-8之一所述的鎖止結構。