[實用新型]一種用于拉晶石英坩堝生產的水冷裝置

有效

• 申請號: 201721327579.8
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207540374U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 陳召強;范玉華;李偉濤;周建璽;高峰
• 申請（專利權）人: 寧晉晶興電子材料有限公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00;C03B20/00
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

本實用新型公開了一種用于拉晶石英坩堝生產的水冷裝置，屬于石英坩堝生產技術領域。其包括機架和水冷板，水冷板上設有用于使電極穿過的作業孔，水冷板內設有水冷管，機架上設有具有一定高度的斜向導軌，水冷板還連接有用于驅動水冷板沿導軌運動的驅動裝置，導軌的頂端設有定滑輪，水冷板通過跨過定滑輪的纜線連接有平衡配重。本實用新型結構簡單，使用方便，能夠有效保護加熱設備，是對現有技術的一種重要改進。

技術領域

本實用新型涉及石英坩堝生產技術領域，特別是指一種用于拉晶石英坩堝生產的水冷裝置。

背景技術

石英坩堝是直拉單晶硅生產中的常用耗材，需要經常進行生產制作。現有技術中，通常是通過電極放電的形式對模具中的石英砂進行加熱，從而使石英砂軟化成型為石英坩堝。

但是，電弧加熱的溫度極高，容易對加熱設備造成損壞，對此，現有技術中還沒有良好的解決方式。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提出一種用于拉晶石英坩堝生產的水冷裝置，其能夠對加熱設備進行水冷隔熱，保護加熱設備不被損壞。

基于上述目的，本實用新型提供的技術方案是：

一種用于拉晶石英坩堝生產的水冷裝置，其包括機架和水冷板，所述水冷板上設有用于使電極穿過的作業孔，所述水冷板內設有水冷管，所述機架上設有具有一定高度的斜向導軌，所述水冷板還連接有用于驅動水冷板沿所述導軌運動的驅動裝置，所述導軌的頂端設有定滑輪，所述水冷板通過跨過所述定滑輪的纜線連接有平衡配重。

可選的，所述驅動裝置包括液壓系統、移動座和液壓頂桿，所述導軌具有兩條開口相對的導槽，所述移動座具有兩個分別嵌入兩條導槽內的滑塊，所述水冷板以平行于地面的形式固定在所述移動座上，所述液壓頂桿與所述導軌的延伸方向平行，所述液壓系統通過液壓頂桿推動所述移動座沿導軌運動。

可選的，所述定滑輪、纜線和平衡配重共有兩組，兩個定滑輪分別設于所述水冷板的左右兩側，兩根纜線分別與所述水冷板的左右兩緣連接。

可選的，所述纜線包括柔性的連接線段和剛性耐高溫的連接桿段，所述纜線通過連接桿段以鉸接方式與所述水冷板連接。

可選的，所述纜線與所述水冷板的連接位置位于所述水冷板的遠離所述導軌的一端處。

可選的，所述導軌的上方還設有用于放置石英砂加熱設備的支架。

從上面的敘述可以看出，本實用新型技術方案的有益效果在于：

1、本實用新型的水冷板能夠對上方的加熱設備起到隔熱作用，從而保護加熱設備不被高溫損壞。

2、本實用新型的水冷板能夠上下移動，便于調整水冷板的位置，適應不同的作業需要。

3、本實用新型通過配重能夠減輕導軌的受力，提高水冷板的穩定性和水平性，并減小水冷板移動時的阻力。

總之，本實用新型結構簡單，使用方便，能夠有效保護加熱設備，是對現有技術的一種重要改進。

附圖說明