[實用新型]一種金剛石薄膜深海溫度傳感器

有效

• 申請號: 201721322903.7
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207502079U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 郭風祥;蓋志剛;張濤;張妹;邱慧敏;李恒;李正軍
• 申請（專利權）人: 山東省科學院海洋儀器儀表研究所
• 主分類號: G01K13/02
• 分類號: G01K13/02
• 代理公司: 青島華慧澤專利代理事務所(普通合伙) 37247
• 代理人: 劉娜;李新欣

1.一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，其特征在于，包括一端密封的筒狀金屬耐壓外殼，所述金屬耐壓外殼內縱向設有片狀金剛石基底，所述金剛石基底一側設有溫度響應元件，所述溫度響應元件為雙螺旋線狀結構，所述溫度響應元件兩端設有與外部信號采集電路連接的引線，所述溫度響應元件和引線表面覆蓋有陶瓷或類金剛石絕緣層，所述陶瓷或類金剛石絕緣層與金屬耐壓外殼接觸；所述溫度響應元件為硼摻雜金剛石薄膜材料。

2.根據權利要求1所述的一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，其特征在于，所述金剛石基底的厚度為毫米級別。

3.根據權利要求1所述的一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，其特征在于，所述溫度響應元件薄膜中硼的摻雜濃度范圍為0～5at.％。

4.根據權利要求1所述的一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，其特征在于，所述金剛石基底為金剛石薄膜晶粒尺寸為100納米～100微米的多晶及2～5nm的超細納米晶金剛石薄膜。

5.根據權利要求1所述的一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，其特征在于，所述金剛石基底的兩側邊與金屬耐壓外殼的內壁固定連接。