[實用新型]電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體

有效

• 申請號: 201721320235.4
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207217470U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 余成鋮;李林;周立
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: H01J49/26
• 分類號: H01J49/26;H01J49/02;G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及質譜儀技術領域，特別涉及一種電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體。

背景技術

電感耦合等離子質譜儀要正常工作，真空腔體必須達到高真空(10-7 mbar)狀態，因為等離子要在電場、磁場或電磁場作用下飛行一定的時間和空間，如果在這些時間和空間中存在大量的氣體就會使離子束很快淬滅而達不到檢測器，所以為了減少離子與背景氣體的碰撞淬滅就要進行抽真空使背景氣體分子數量大大減少，以維持足夠的離子平均自由程。而現有的真空腔體技術具有高真空難以滿足，結構復雜，穩定性不好，不適合用于儀器整體化設計等缺點。

實用新型內容

本實用新型旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。

為此，本實用新型的一個目的在于提出一種裝配簡單，智能化程度高，穩定性強，滿足高真空要求并能實時讀取真空狀態的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體。

根據本實用新型的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體，包括：主腔體，上蓋板，密封部件，電路板和電路板壓板；

所述主腔體通過連接部件與所述上蓋板連接，且所述上蓋板在所述主腔體的上端，在所述主腔體與所述上蓋板的連接處具有第一密封部件；

在所述電路板與所述上蓋板之間連接處具有密封部件，所述電路板壓板通過鎖緊部件與所述電路板鎖緊，

或

所述電路板壓板與所述上蓋板之間具有密封部件，所述電路板安裝在所述密封部件內部。

與現有技術相比，為了減少離子與背景氣體的碰撞淬滅就要進行抽真空使背景氣體分子數量大大減少，以維持足夠的離子平均自由程，而現有的真空腔體技術具有高真空難以滿足，結構復雜，穩定性不好，不適合用于儀器整體化設計等缺點；本實用新型的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體，由于采用不銹鋼鎖緊扣將上蓋板壓緊在主腔體上，且在中間設置密封部件，不銹鋼鎖緊扣在進行鎖緊的過程中，密封部件通過彈性變形保證了上蓋板和主腔體之間的密封性；另外，上蓋板與電路板之間也同樣通過密封部件進行密封，保證了儀器整體化設計，裝配簡單，智能化程度高，穩定性強，滿足高真空要求并能實時讀取真空狀態等。

另外，根據本實用新型上述實施例的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體還可以具有如下附加的技術特征：

根據本實用新型的一個示例，所述連接部件為不銹鋼鎖緊扣。

根據本實用新型的一些示例，所述電路板包括n個電路板，所述電路板壓板包括m個電路板壓板，所述電路板安裝在所述電路板壓板下方，所述密封部件為密封圈，在所述電路板與所述上蓋板之間連接處具有所述密封圈，所述電路板壓板通過鎖緊部件與所述電路板鎖緊，

或

所述電路板壓板與所述上蓋板之間具有所述密封圈，所述電路板安裝在所述密封部件內部。

進一步地，所述m為2，所述n為2，所述電路板壓板包括第一電路板壓板和第二電路板壓板，所述電路板包括第一電路板和第二電路板，

所述第一電路板壓板壓住所述第一電路板，所述第一電路板與所述上蓋板之間具有第一密封圈和第二密封圈，

或

所述第一電路板壓板與所述上蓋板之間具有一密封圈，所述第一電路板安裝在所述一密封圈內部；

所述第二電路板壓板壓住所述第二電路板，所述第二電路板與所述上蓋板之間具有第三密封圈和第四密封圈，

或

所述第二電路板壓板與所述上蓋板之間具有二密封圈，所述第二電路板安裝在所述二密封圈內部。

進一步地，所述鎖緊部件為螺絲鎖緊部件或者卡扣鎖緊部件。

根據本實用新型的一個示例，所述高真空腔體還包括真空分子泵，所述真空分子泵與所述主腔體連接。

根據本實用新型的一個示例，所述高真空腔體還包括真空規和壓緊塊，所述真空規通過壓緊塊與所述主腔體連接。

本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

圖1繪示了本實用新型一實施方式的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體外觀示意圖；

圖2為本實用新型的電感耦合等離子體質譜儀高真空腔體剖面示意圖；

圖中，1. 主腔體2. 不銹鋼鎖緊扣3. 上蓋板4. O型圈一5. 電路板壓板6. 電路板一7. O型圈二8. O型圈三9. 上蓋板壓板10. 電路板二11. O型圈四12. O型圈五13真空分子泵14. 真空規15. 壓緊塊。

具體實施方式