[實(shí)用新型]一種全自動特殊氣體四瓶供應(yīng)柜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721320129.6
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207648459U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘萬;楊欣;江福榮;秦亞超;陳顏艷;吳金萍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00;G01M3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全自動特殊氣體四瓶供應(yīng)柜，它包含柜體(1)、控制顯示操作單元(2)、吹掃單元(4)、報警單元(5)，其特征在于：它還包含氣瓶工作單元(3)設(shè)置在柜體(1)的內(nèi)部，它包含四個相同規(guī)格的氣瓶(31)，且包含氣動隔離閥(32)、壓力傳感器(33)、過濾器(34)、工作管路(35)、工藝氣體出口閥(36)、氣瓶秤(37)、調(diào)壓閥(38)；氣瓶(31)出口端連接過濾器(34)、調(diào)壓閥(38)、工藝氣體出口閥(36)；壓力傳感器(33)的數(shù)量為六個，設(shè)置在氣動隔離閥(32)出口一端和調(diào)壓閥(38)后的工作管路(35)內(nèi)，并連接微處理器(21)；氣瓶秤(37)放置在氣瓶(31)下，并連接微處理器(21)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動特殊氣體四瓶供應(yīng)柜，其特征在于：所述的柜體(1)設(shè)置有左右兩扇門(11)，門(11)的上部設(shè)置有觀察窗(12)，觀察窗(12)為防爆玻璃觀察窗，門(11)的下部設(shè)置有柜門氣柵門(13)；控制顯示操作單元(2)包含微處理器(21)、顯示屏和操作單元為觸摸屏(22)；顯示屏和操作單元在柜體(1)的上部且同側(cè)，操作單元連接微處理器(21)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動特殊氣體四瓶供應(yīng)柜，其特征在于：吹掃單元(4)包含吹掃氣體進(jìn)口(41)、微流閥(42)、吹掃隔離閥(43)、高壓氣體排放閥(44)、低壓氣體排放閥(45)、真空發(fā)生器(46)、單向閥(47)；吹掃氣體進(jìn)口(41)設(shè)置在柜體(1)上；微流閥(42)的進(jìn)口通過管路連接到吹掃氣體進(jìn)口(41)，微流閥(42)的出口通過管路經(jīng)過單向閥(47)連接到吹掃隔離閥(43)，吹掃隔離閥(43)出口連通氣動隔離閥(32)，真空發(fā)生器(46)的進(jìn)口經(jīng)過工作管路經(jīng)過單向閥(47)連通高壓氣體排放閥(44)和低壓氣體排放閥(45)，其出口通過管路連接到柜體(1)外；單向閥(47)設(shè)置在微流閥(42)后端的吹掃工作管路(35)中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動特殊氣體四瓶供應(yīng)柜，其特征在于：報警單元(5)包含氣體泄漏傳感器(51)、火焰探測器(52)、差壓開關(guān)(53)、聲光報警器(54)；氣體泄漏傳感器(51)、火焰探測器(52)、差壓開關(guān)(53)設(shè)置在柜體(1)內(nèi)，連接微處理器(21)；聲光報警器(54)安裝在柜體(1)的外表面上。