[實用新型]一種納米壓印設備

有效

• 申請號: 201721314985.0
• 申請日: 2017-10-12
• 公開（公告）號: CN207198548U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及納米壓印領域，特別是涉及一種納米壓印設備。

背景技術

納米壓印技術是一種新型的納米結構圖形轉移技術，圖形是通過一定的壓力按壓具有凹凸納米結構的模板到均勻涂覆很薄的聚合物薄層的基板上實現圖形轉移；對上述壓印組件進行加熱或紫外曝光等方法使納米結構定型；除去模板后，涂覆聚合物薄層的基板上留下原始凹凸納米結構圖形的壓印。上述納米壓印工藝流程操作簡單，工作效率高，每一基片壓印流程僅需幾分鐘。

納米壓印工藝流程中，包含凹凸納米結構的模板和含有聚合物薄層的基板構成納米壓印組件。由于是納米結構圖形轉移，模板與壓入基板表面的平衡，按壓的壓力分布均勻是納米壓印工藝的關鍵技術之一。任何壓入的微小不平衡、壓力分布不均勻都會使圖形轉移發生畸變。

現有技術中模板與壓入基板表面的不平衡導致壓入壓力分布不均勻或局部區域貼合不上，從而引起圖形轉移過程中發生形變或圖形遺漏，而這些缺陷在具有微納結構的產品中都會導致不可忽略的誤差。

實用新型內容

本實用新型的一個目的是要提供一種納米壓印設備，通過安裝有彈性件使托板能夠跟隨模板表面相對底座進行縱向偏移，并由托板固定機構對已經和模板表面平行對準貼合的托板進行橫向、縱向、豎向的完全定位固定，以克服上述問題。

特別地，本實用新型提供了一種納米壓印設備，包括：

承壓板，其一側板面固定有模板；

托板，其一側板面固定有基板，所述基板與所述模板相對設置；

底座，與所述托板另一側板面相對設置，所述底座與所述托板相分離設置；

多個彈性件，安裝于所述托板與所述底座之間，通過多個所述彈性件分別與所述底座及所述托板相連接，使所述托板上的基板能夠跟隨所述模板完全平行貼緊設置；

多個支柱，安裝于所述底座處，每個所述彈性件與一個所述支柱對應設置，所述托板受到所述承壓板擠壓時，所述支柱與所述彈性件配合能夠支撐所述托板；以及

驅動裝置，通過與所述底座對接，以驅動所述托板上的所述基板能夠與所述承壓板上的所述模板貼合或分離。

進一步地，所述壓印設備還包括：

托板固定機構，安裝于所述托板與所述底座之間的所述底座上，所述托板固定機構與所述托板對接，所述托板固定機構能夠與所述托板保持固定，所述托板固定機構能夠跟隨所述托板相對于所述底座擺動；

檢測單元，安裝于所述底座處，所述檢測單元用于檢測所述驅動裝置對所述底座的推力是否超過設定值；以及

控制單元，分別與所述檢測單元及所述托板固定機構連接，所述控制單元基于通過所述檢測單元獲知所述驅動裝置對所述底座的推力是否超過所述設定值，并控制所述托板固定機構與所述托板保持固定。

進一步地，所述彈性件為彈簧，所述支柱套裝于所述彈性件內，所述彈性件的兩端分別與所述托板及所述底座連接。

進一步地，所述托板的另一側板面朝向所述底座方向形成有突出結構，所述彈性件受壓時所述突出結構能夠與所述支柱相貼合，所述彈性件的兩端分別與所述突出結構及所述底座連接。

進一步地，所述突出結構形成有凹腔，所述凹腔朝向所述托板的另一側板面凹陷；

所述托板固定機構包括：

底部結構，與所述底座相固定；

頂部結構，安裝于所述凹腔內，所述頂部結構具有多個支撐臂，每個所述支撐臂與所述突出結構平行貼合，通過每個所述支撐臂能夠伸縮并與所述突出結構緊密貼合，使所述頂部結構能夠與所述托板保持固定；以及

萬向軸，通過與所述頂部結構及所述底部結構連接，使所述頂部結構能夠跟隨所述托板相對于所述底座擺動。

進一步地，所述驅動裝置包括：

伺服電機，用于驅動所述底座升降；以及

滾珠絲杠，其兩端分別與所述伺服電機和所述底座連接。

進一步地，所述檢測單元安裝于所述底座處，并同時與所述驅動裝置對接，所述檢測單元為壓力傳感器。

進一步地，所述彈性件的數量為至少三個。

進一步地，所述支撐臂通過氣壓或液壓傳動方式相對所述頂部結構伸出或縮回。

進一步地，所述突出結構呈套筒狀。

本申請的技術效果：