[實用新型]一種新型氮氣干燥裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721307096.1
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN207507228U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 常學(xué)平;謝超;陳永森
• 申請（專利權(quán)）人: 西南石油大學(xué)
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種新型氮氣干燥裝置，其包括罐體、盤管、翅片、換熱管、上下支撐板構(gòu)件，所述盤管直接放置在罐體底部，帶有翅片的換熱管放置在上下支撐板間固定，罐體上面采用快開盲板設(shè)計。氮氣進口設(shè)置在盤管上方，氮氣出口設(shè)置在快開盲板下方。本新型氮氣干燥裝置，設(shè)計科學(xué)合理，氮氣處理量大，干燥效果好，相比其他氮氣干燥處理方式更加環(huán)保、節(jié)能，能夠廣泛應(yīng)用于工業(yè)氮氣干燥領(lǐng)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型專利屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)，液體硅膠生產(chǎn)，以及需要使用干燥氮氣的各個領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中擴散工藝是一件非常重要的工序，其中晶圓的擴散一般在擴散爐內(nèi)完成，在這一過程中，需要對擴散爐內(nèi)注入足夠的氮氣和氧氣，保證擴散爐處于正壓狀態(tài)。該生產(chǎn)過程就需要干燥的氮氣。其次在一些液體硅膠生產(chǎn)過程中同樣需要干燥的氮氣充入反應(yīng)釜以作為保護氣，同時干燥的氮氣不會影響產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量。還有在制冷行業(yè)，制冷系統(tǒng)的壓力試驗也需要干燥的氮氣，干燥的氮氣可以防止制冷系統(tǒng)內(nèi)部進入水蒸氣，如果進入水蒸氣會導(dǎo)致制冷系統(tǒng)結(jié)冰造成冰堵。所以，在工業(yè)生產(chǎn)中干燥氮氣的使用領(lǐng)域是非常廣泛的，而目前工業(yè)上氮氣的干燥多采用分子篩或者干燥介質(zhì)進行干燥，這兩種方法成本高，污染大，與節(jié)能環(huán)保的方針相違背，本新型氮氣干燥裝置便能解決這些問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種氮氣干燥裝置，其采用罐體的方式，擁有干燥量大、冷凝速度快等優(yōu)點，相比現(xiàn)有的氮氣干燥裝置來說成本較低，干燥效率高，操作簡單，實用性強。

為解決所述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本實用新型專利公開了一種新型氮氣干燥裝置，其包括罐體、盤管、翅片、換熱管、上下支撐板結(jié)構(gòu)，所述盤管直接放置在罐體底部，同時盤管設(shè)置進出口，通過與外界的熱流體相連接實現(xiàn)加熱，防止結(jié)冰堵塞，所述支撐板焊接在罐體內(nèi)壁用來支撐與固定板翅式換熱裝置在罐體內(nèi)的位置，所述帶有翅片的換熱管放置在上下支撐板間固定，氮氣進入罐體后，經(jīng)過翅片板，翅片板的換熱管通入經(jīng)過制冷的乙二醇，當(dāng)翅片板溫度達到了水蒸氣的冷凝點，氮氣與翅片接觸后，水蒸氣發(fā)生冷凝，形成的液珠流入罐底排出罐外，并有部分液珠結(jié)冰附著在翅片上，經(jīng)過冷凝脫水的氮氣通過出口管道排出，整個罐體頂部采用快開法蘭設(shè)計，便于罐體內(nèi)部的維護和檢修。

本實用新型的進步效果在于：結(jié)構(gòu)設(shè)計新穎合理，罐體的兩用，既保持了冷凝空間又確保了析出的水蒸氣的排放，其次方形翅片式換熱裝置的設(shè)計，既保證了很大的接觸面積，又保證了冷凝效果，從而達到處理量大、干燥效率高的效果。最后就是罐底盤管的設(shè)計，對可能結(jié)冰的隱患做了充分的考慮，設(shè)計合理，確保了罐體工作的穩(wěn)定性，適合處理量比較大的氮氣干燥工作。

附圖說明：

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖

圖2為本實用新型支撐板結(jié)構(gòu)圖

圖3為本實用新型方形翅片換熱裝置的結(jié)構(gòu)圖

圖中：排污出口1、盤管2、氮氣入口3、下支撐板4、換熱管5、方形鋁片6、上支撐板7、氮氣出口8、快開法蘭9。

具體實施方式：

本實用新型由以下實施例給出，下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步描述。

如圖1所示：排污出口1設(shè)置在罐體底部，盤管2直接放置在罐體排污出口1上部，氮氣入口設(shè)置在下支撐板4下方，罐體下部形成進氣與排液一體的部分，同時在這一部分設(shè)置了盤管，能夠?qū)赡苄纬傻谋旌衔镞M行升溫融化，防止堵塞。罐體上部換熱管5與方形鋁片進行連接，固定在上支撐板7與下支撐板4之間，在上支撐板7上方設(shè)置氮氣排出口8，罐體頂部采用快開法蘭9。