[實用新型]一種超高真空兼容的低溫強磁場原位輸運裝置

有效

• 申請號: 201721305743.5
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN207439997U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 陳劍豪;蔡超逸;曹世民;曹傳午
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62;G01N1/28
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 蘇愛華

1.一種超高真空兼容的低溫強磁場原位輸運裝置，其特征在于，包括低溫強磁場系統、超高真空腔系統、表面調控系統和支撐系統幾部分組成；低溫強磁場系統與超高真空腔系統主腔體通過法蘭進行連接；超高真空腔系統主腔體與表面調控系統的差分抽氣旋轉平臺通過法蘭進行連接；低溫強磁場系統、超高真空腔系統和表面調控系統連接成為整體通過支撐系統固定在樓板地面。

2.如權利要求1所述的一種超高真空兼容的低溫強磁場原位輸運裝置，其特征在于，所述超高真空腔系統由主腔體、商用分子泵和商用離子泵組成；其中主腔體使用304或316不銹鋼加工而成，主腔體主體為空心圓柱狀；主腔體上下方各有一個法蘭管，可以分別與低溫強磁場系統、表面調控系統進行連接；主腔體主體上帶有很多功能各異的法蘭接口結構，可以連接各種功能模塊主要包括樣品臺轉向操作桿、觀察窗法蘭、晶振膜厚監測裝置、手動支撐操作桿、進樣法蘭、超高真空檢測裝置質譜儀、真空熱偶規、電動操作桿、封口法蘭、預留法蘭；法蘭接口均氣密焊接在主腔體的主體上，各功能模塊均采用CF法蘭的方式使用螺絲和法蘭接口固定。

3.如權利要求1所述的一種超高真空兼容的低溫強磁場原位輸運裝置，其特征在于，所述超高真空腔系統由主腔體內部設計有低溫強磁場系統的防輻射罩儲存空間，主腔體上安裝有垂直運動的主操作桿和橫向運動操作桿用來輔助完成防輻射罩的支撐、移動和存儲；低溫強磁場系統的底部防輻射罩的一部分為活動連接的部件，使用插針方式，利用摩擦力固定在低溫強磁場系統底部；具體實現形式為：垂直運動的主操作桿安裝在主腔體主體下方的法蘭接口，使用螺絲固定；橫向運動操作桿安裝在主腔體主體一側的封口法蘭，使用螺絲固定；進樣時，先使用主操作桿把防輻射罩從低溫強磁場系統底部取下，再使用橫向運動操作桿把防輻射罩儲存在主腔體中；測量時，通過與上述路徑相反的方式，最終通過主操作桿把防輻射罩利用摩擦力固定在低溫強磁場系統底部。

4.如權利要求1所述的一種超高真空兼容的低溫強磁場原位輸運裝置，其特征在于，表面調控系統由差分抽氣旋轉平臺、大法蘭、微調平移臺、主操作桿和各種表面科學裝置組成；其中差分抽氣旋轉平臺一側與超高真空腔系統通過法蘭連接，另一側與大法蘭連接；差分抽氣旋轉平臺的旋轉中心不在系統的中心軸上，而是偏向了側面，其偏離的距離正好等于大法蘭上各個小法蘭的中軸距離大法蘭中心的距離；大法蘭上可以根據需求訂制大小各異的法蘭接口，其中一個法蘭接口與微調平移臺進行連接，其余法蘭接口可以根據使用需求接入功能各異的表面科學裝置；微調平移臺另一側與主操作桿采用CF法蘭的方式使進行固定，用于對主操作桿的位置進行微調，以實現主操作桿和防輻射屏、可拆卸樣品臺的對接。