[實用新型]一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵有效
| 申請號： | 201721304701.X | 申請日： | 2017-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN207440322U | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發明（設計）人： | 徐建衛 | 申請（專利權）人： | 上海矽安光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周高 |
| 地址： | 200233 上海市徐匯*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 寬帶反射 衍射光柵 寬帶反射光柵 光柵 金屬層 襯底 本實用新型 反射金屬層 反射型光柵 光柵占空比 波長帶寬 壓縮技術 衍射效率 啁啾脈沖 入射角 刻蝕 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵，其特征在于，包括襯底，所述襯底上方覆蓋有一反射金屬層，所述金屬層上設有光柵，所述光柵的周期為450?550納米、刻蝕深度400?560納米，所述光柵占空比為0.4?0.65，所述金屬層的厚度大于300納米。
2.如權利要求1所述的一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵，其特征在于，所述光柵的周期為550納米，光柵的刻蝕深度為520納米，光柵占空比為0.45。
3.如權利要求2所述的一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵，其特征在于，所述金屬層的材質為金、銀、鋁或銅。
4.如權利要求3所述的一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵，其特征在于，所述光柵的制作材質為氧化鉿。
5.如權利要求1至4中任一項所述的一種800納米波段寬帶反射型衍射光柵，其特征在于，所述襯底為熔融石英、金屬、玻璃或陶瓷。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海矽安光電科技有限公司，未經上海矽安光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721304701.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
