[實用新型]方硅芯切割機硅棒固定工裝

有效

• 申請號: 201721304625.2
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN207294191U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 薛榮國;袁鄭堂;陳春雷
• 申請（專利權）人: 江陰東升新能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035;C01B33/03
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司11429
• 代理人: 趙海波

技術領域

本實用新型涉及一種方硅芯切割機硅棒固定工裝，屬于多晶硅生產技術領域。

背景技術

目前，目前國內生產多晶硅的工藝大部分都是常規三氯氫硅氫還原法，即改良西門子法，改良西門子法或其他類似方法生產大直徑多晶硅的主要設備是多晶硅還原爐，多晶硅還原爐在細長的硅芯上通上電源，使硅芯加熱發紅，直至表面溫度達到1100攝氏度，通入高純的三氯氫硅和氫氣，使其在高溫下發生氫還原反應，使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上，使其的直徑不斷地增大，通常，硅芯的直徑在7-10毫米，可以是圓形也可以是方型，或是其他形狀，最終通過氫還原反應使直徑不斷地增大到120-200毫米，生產出高純太陽能級6N或電子級11N的多晶硅器均無法適用于廠內方硅芯的測試。

目前硅芯的制備方法有二種，傳統的方法是用CZ法（區熔提拉法），即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內用高頻感應加熱，使其頂部局部熔化，從上部放入1根直徑在5-10毫米的籽晶，然后慢慢向上提拉，使其成為直徑在7-10毫米，長度在1900-3000毫米之間的細長硅芯，其缺點是提拉速度慢，一般為8-12毫米/分鐘，拉制1根2米的硅芯需要4小時，生產效率低，電力消耗大，設備投資大。

另一種是用金剛石工具切割法，美國Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數控多晶硅細長硅芯多線切割機床，用于硅芯的制備。通過利用電鍍上金剛石微粒的細鋼絲線在被加工工件上高速地往復運動或單向移動，將硅棒壓在該機床用金剛石線交叉組成的方形線網上，從而將該硅棒切割成細長的硅芯。其優點十分明顯，10-12小時可以切割出200根左右2米長的7X7或8X8毫米的方形硅芯，電力消耗小，加工效率高。

目前硅芯切割的母料直接采用還原爐中制得的硅棒，硅芯切割時需要將硅棒懸掛至切割機上，切割時金剛石線容易與硅棒產生偏離，從而影響最終的產品質量和成材率。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對上述現有技術提供一種方硅芯切割機硅棒固定工裝，它能夠對硅棒進行有效固定，防止切割時硅棒晃動從而與金剛石線產生偏離，有效保證了最終的產品質量和成材率。

本實用新型解決上述問題所采用的技術方案為：一種方硅芯切割機硅棒固定工裝，它包括外殼，所述外殼前側沿豎直方向設置有進料口，所述進料口左右兩側自上而下設置有多個鉸接座，所述鉸接座位于外殼內壁上，所述鉸接座上鉸接有抱臂，左右兩側的抱臂對稱布置，所述抱臂包括連接臂，所述連接臂外端與鉸接座相鉸接，連接臂內端設置有抱箍，所述抱箍上設置有多個鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓內端設置有保護套。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

本實用新型一種方硅芯切割機硅棒固定工裝，它能夠對硅棒進行有效固定，防止切割時硅棒晃動從而與金剛石線產生偏離，有效保證了最終的產品質量和成材率。

附圖說明

圖1為本實用新型一種方硅芯切割機硅棒固定工裝的結構示意圖。

圖2為圖1的A部放大圖。

其中：

外殼1

進料口2

抱臂3

連接臂3.1

抱箍3.2

鎖緊螺栓3.3

保護套3.4

硅棒4。

具體實施方式

以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

如圖1、圖2所示，本實施例中的一種方硅芯切割機硅棒固定工裝，它包括外殼1，所述外殼1前側沿豎直方向設置有進料口2，所述進料口2左右兩側自上而下設置有多個鉸接座，所述鉸接座位于外殼1內壁上，所述鉸接座上鉸接有抱臂3，左右兩側的抱臂3對稱布置，所述抱臂3包括連接臂3.1，所述連接臂3.1外端與鉸接座相鉸接，連接臂3.1內端設置有抱箍3.2，所述抱箍3.2上設置有多個鎖緊螺栓3.3，所述鎖緊螺栓3.3內端設置有保護套3.4。

除上述實施例外，本實用新型還包括有其他實施方式，凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術方案，均應落入本實用新型權利要求的保護范圍之內。