[實(shí)用新型]方硅芯少數(shù)載流子測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721304616.3
• 申請(qǐng)日: 2017-10-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207303046U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫繼勤;宋虎;吳潮;陳偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江陰東升新能源股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專(zhuān)利代理有限公司11429
• 代理人: 趙海波

1.一種方硅芯少數(shù)載流子測(cè)試裝置，其特征在于：它包括支架(1)，所述支架(1)上設(shè)置有支撐平臺(tái)(2)，所述支撐平臺(tái)(2)上設(shè)置有測(cè)試平臺(tái)(3)，所述測(cè)試平臺(tái)(3)中間開(kāi)設(shè)有通孔(4)，所述通孔(4)左右兩側(cè)同一直線(xiàn)上設(shè)置有導(dǎo)槽(5)，所述通孔(4)下方設(shè)置有托架(6)，所述支架(1)一側(cè)設(shè)置有載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀(7)，所述載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀(7)包括測(cè)試主機(jī)(7.1)和測(cè)試頭(7.2)，所述測(cè)試頭(7.2)設(shè)置于托架(6)上，所述測(cè)試頭(7.2)底部與測(cè)試主機(jī)(7.1)之間通過(guò)連接導(dǎo)線(xiàn)(7.3)相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方硅芯少數(shù)載流子測(cè)試裝置，其特征在于：所述托架(6)包括豎直連接板(6.1)，所述豎直連接板(6.1)上設(shè)置有水平托板(6.2)，所述水平托板(6.2)外側(cè)設(shè)置有擋板(6.4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種方硅芯少數(shù)載流子測(cè)試裝置，其特征在于：所述豎直連接板(6.1)上沿豎直方向設(shè)置有左右兩個(gè)調(diào)節(jié)槽(6.3)，所述調(diào)節(jié)槽(6.3)內(nèi)設(shè)置有鎖緊螺絲(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種方硅芯少數(shù)載流子測(cè)試裝置，其特征在于：所述測(cè)試頭(7.2)通過(guò)鎖緊螺絲(8)與托架(6)相連接。