[實用新型]一種掃描探針檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721279545.6 | 申請日： | 2017-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN207528753U | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王文娟;盧昆忠 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢銳科光纖激光技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號： | G01Q20/02 | 分類號： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿軍;張瑾 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微懸臂 透鏡組 諧振腔 共心 本實用新型 分光棱鏡 檢測裝置 掃描探針 凹球面 球心 表面反射率 多光束干涉 光電探測器 高反射率 激光光源 小孔光闌 依次設(shè)置 反射層 干涉光 透射膜 偏移 凹球 出射 光路 探測 | ||
1.一種掃描探針檢測裝置，其特征在于：包括沿光路依次設(shè)置的激光光源、分光棱鏡、小孔光闌、透鏡組以及微懸臂，所述透鏡組與所述微懸臂組成半共心諧振腔，所述透鏡組朝向所述微懸臂的表面為凹球面，所述凹球面鍍有高反射率的部分透射膜，所述凹球面的球心落在所述微懸臂上，所述微懸臂表面具有反射層，所述分光棱鏡的一側(cè)還設(shè)有用于接收由所述半共心諧振腔出射的干涉光的光電探測器。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述透鏡組由單個或多個透鏡組成。
3.如權(quán)利要求2所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述透鏡組包括一個凹透鏡，所述凹透鏡朝向所述微懸臂的表面為凹球面，所述凹透鏡背向所述微懸臂的表面為凸球面，所述凹球面的曲率半徑大于所述凸球面的曲率半徑。
4.如權(quán)利要求1所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述微懸臂與所述半共心諧振腔的光軸的垂線之間具有初始偏轉(zhuǎn)角。
5.如權(quán)利要求4所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述初始偏轉(zhuǎn)角滿足：
上式中θ為初始偏轉(zhuǎn)角，Δα為微懸臂跟隨樣品偏移的偏轉(zhuǎn)角的最大值，d為凹球面的直徑，r為凹球面的半徑。
6.如權(quán)利要求1所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述激光光源為單頻可見光源。
7.如權(quán)利要求1所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述小孔光闌的通光孔徑與激光光源所發(fā)出的激光光束的直徑相同。
8.如權(quán)利要求1所述的掃描探針檢測裝置，其特征在于：所述激光光源的輸出波長為488?nm，輸出光束的光譜寬度小于1.5?MHz。
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