[實用新型]一種用于石墨熱場系統的加熱器有效
| 申請號: | 201721270222.0 | 申請日: | 2017-09-29 |
| 公開(公告)號: | CN207468769U | 公開(公告)日: | 2018-06-08 |
| 發明(設計)人: | 范桂林;李茂欣 | 申請(專利權)人: | 上海磐盟電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海宣宜專利代理事務所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 劉君 |
| 地址: | 201611 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 加熱器本體 定位卡槽 連接槽 加熱器 本實用新型 定位卡塊 固定底座 石墨熱場 石墨坩堝 密封蓋 頂端安裝 頂端連接 工作效率 滑動安裝 滑動連接 石英坩堝 中空結構 延伸 拆裝 底端 封蓋 焊接 連通 體內 | ||
本實用新型公開了一種用于石墨熱場系統的加熱器,包括固定底座,所述固定底座的頂端安裝有加熱器本體,加熱器本體為中空結構,加熱器本體的頂端連接有密封蓋,加熱器本體內安裝有石墨坩堝,石墨坩堝內安裝有石英坩堝,加熱器本體的頂端開設有兩個連接槽,密封蓋的底端焊接有兩個連接塊,連接槽與連接塊滑動連接,且連接塊的一端延伸至連接槽外,加熱器本體的兩側均開設有定位卡槽,定位卡槽與連接槽連通,定位卡槽內滑動安裝有定位卡塊,且定位卡塊的一端延伸至定位卡槽外。本實用新型結構簡單,使用方便,可以快速的對加熱器本體和密封蓋進行拆裝,操作容易,縮短時間,提高了工作效率。
技術領域
本實用新型涉及加熱器技術領域,尤其涉及一種用于石墨熱場系統的加熱器。
背景技術
石墨熱場系統包括加熱系統和支撐系統,石墨坩堝支撐著石英坩堝,多晶硅裝在石英坩堝內,加熱至1420度,熔化成硅熔液,進行結晶即單晶生長。
目前現有的加熱器大多都是用螺栓將加熱器本體與密封蓋進行連接的,在進行放料和取料時需要經常打開密封蓋,經常使用螺栓容易造成螺紋與螺紋孔的損壞,使用螺栓不易拆裝,所以,我們提出了一種用于石墨熱場系統的加熱器用于解決上述問題。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種用于石墨熱場系統的加熱器。
為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:
一種用于石墨熱場系統的加熱器,包括固定底座,所述固定底座的頂端安裝有加熱器本體,加熱器本體為中空結構,加熱器本體的頂端連接有密封蓋,加熱器本體內安裝有石墨坩堝,石墨坩堝內安裝有石英坩堝,加熱器本體的頂端開設有兩個連接槽,密封蓋的底端焊接有兩個連接塊,連接槽與連接塊滑動連接,且連接塊的一端延伸至連接槽外,加熱器本體的兩側均開設有定位卡槽,定位卡槽與連接槽連通,定位卡槽內滑動安裝有定位卡塊,且定位卡塊的一端延伸至定位卡槽外,定位卡塊位于定位卡槽外的一端焊接有拉板,定位卡塊外套設有彈簧,彈簧的一端焊接在拉板上,彈簧的另一端焊接在加熱器本體上,連接塊位于連接槽內的一端開設有定位通孔,定位通孔與定位卡塊滑動連接,且定位卡塊的兩端均延伸至定位通孔外。
優選的,所述連接槽兩側的內壁上均安裝有第一滑軌,定位卡塊的兩側均焊接有第一滑塊,兩個第一滑塊分別滑動安裝在兩個第一滑軌內。
優選的,所述連接槽兩側的內壁上均安裝有第二滑軌,連接塊的兩側均焊接有第二滑塊,兩個第二滑塊分別滑動安裝在兩個第二滑軌內。
優選的,所述固定底座的頂端開設有凹槽,加熱器本體固定安裝在凹槽內。
優選的,所述連接槽的內壁上安裝有密封墊,密封墊與連接塊相接觸。
優選的,所述定位通孔的內壁上滾動安裝有第一滾珠,第一滾珠與定位卡塊相接觸。
優選的,所述定位卡槽的內壁上滾動安裝有第二滾珠,第二滾珠與定位卡塊相接觸。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:
本實用新型中,通過固定底座、加熱器本體、密封蓋、石墨坩堝、石英坩堝、連接槽、連接塊、定位卡槽、定位卡塊、拉板、彈簧和定位通孔共同構建了一種用于石墨熱場系統的加熱器,當需要對加熱器本體和密封蓋進行安裝時,首先,將連接塊與連接槽滑動連接,使連接塊向靠近連接槽的方向滑動,在定位卡槽、定位卡塊、拉板和彈簧的配合下,使定位卡塊向遠離定位卡槽的方向滑動,當定位通孔與定位卡槽相平齊時,在定位卡塊、拉板和彈簧的配合下,使定位卡塊向靠近定位通孔的方向滑動,當定位卡塊穿過定位通孔時,完成了對加熱器本體和密封蓋的安裝工作,本實用新型結構簡單,使用方便,可以快速的對加熱器本體和密封蓋進行拆裝,操作容易,縮短時間,提高了工作效率。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的一種用于石墨熱場系統的加熱器的結構示意圖;
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