[實用新型]一種應用于真空管道的無極調節機構

有效

• 申請號: 201721269355.6
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN207279214U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 胡榮朝;曹超
• 申請（專利權）人: 上海潤理真空技術有限公司
• 主分類號: F16M13/02
• 分類號: F16M13/02;F16M11/12;F16M11/18
• 代理公司: 上海海貝律師事務所31301
• 代理人: 范海燕

技術領域

本實用新型涉及一種調節機構，具體為一種應用于真空管道的無極調節機構。

背景技術

在真空設備系統中有時需要利用管道一端連接真空實驗腔室，管道另一端連接CCD探測器來捕捉真空室內實驗的情況，探測器與真空腔室內的被探測樣品之間需要有很好的同心度，但是管道一般很長，稍有機械加工及焊接的變形則無法滿足同心度，目前市面是解決這種管道同心度的問題，采用的機構結構較為復雜且造價成本較高。

實用新型內容

針對背景技術中存在的問題，本實用新型提供了一種應用于真空管道的無極調節機構。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種應用于真空管道的無極調節機構，包括依次可拆卸連接的XZ面調節機構、XZ面管道、XY面調節機構與XY面管道，所述XZ面調節機構與XY面調節機構結構相同但安裝角度相差90°。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述XZ面調節機構與XY面調節機構均包括對接法蘭a、對接法蘭b、金屬波紋管與調節螺柱，所述金屬波紋管兩端分別連接對接法蘭a與對接法蘭b，所述對接法蘭a上設置有調節座，所述對接法蘭b上設置有軸承中心座，所述軸承中心座轉動連接有連桿端軸承，所述連桿端軸承與調節螺柱一端螺紋連接，所述調節螺柱另一端穿過調節座上的調節孔并通過兩個調節螺母進行固定，所述XY面管道與XZ面管道兩端均設置有對接法蘭c，所述XZ面調節機構、XZ面管道、XY面調節機構與XY面管道通過對接法蘭a、對接法蘭b與對接法蘭c依次相連接。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述金屬波紋管采用不銹鋼材質制成。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型通過XZ面調節機構與XY面調節機構，能夠實現整體管道間的一定角度內的自由偏轉，利用兩套調節機構的角度互補，達到管道的角度無極調節的目的，整體設計操作便捷，結構簡單實用且造價成本低，便于推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結構示意圖；

圖2為圖1中XZ面調節機構結構示意圖；

圖中：1-XZ面調節機構；2-XZ面管道；3-XY面調節機構；4-XY面管道；5-對接法蘭c；101-對接法蘭a；102-對接法蘭b；103-金屬波紋管；104-調節螺柱；105-軸承中心座；106-連桿端軸承；107-調節螺母；108-調節座。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：

請參閱圖1與圖2，本實用新型提供一種應用于真空管道的無極調節機構，包括依次可拆卸連接的XZ面調節機構1、XZ面管道2、XY面調節機構3與XY面管道4，所述XZ面調節機構1與XY面調節機構3結構相同但安裝角度相差90°，具體的，所述XZ面調節機構1與XY面調節機構3均包括對接法蘭a101、對接法蘭b102、金屬波紋管103與調節螺柱104，所述金屬波紋管103兩端分別連接對接法蘭a101與對接法蘭b102，所述對接法蘭a101上設置有調節座108，所述對接法蘭b102上設置有軸承中心座105，所述軸承中心座105轉動連接有連桿端軸承106，所述連桿端軸承106與調節螺柱104一端螺紋連接，所述調節螺柱104另一端穿過調節座108上的調節孔并通過兩個調節螺母107進行固定，所述XY面管道4與XZ面管道2兩端均設置有對接法蘭c5，所述XZ面調節機構1、XZ面管道2、XY面調節機構3與XY面管道4通過對接法蘭a101、對接法蘭b102與對接法蘭c5依次相連接，本實用新型利用金屬波紋管103的柔韌性可以實現伸縮與彎曲，在真空設備的系統中，利用XZ面調節機構1內的金屬波紋管103，可以對連接其上的管道在XZ平面內的一定范圍的角度調節，然后通過XZ面調節機構1上的調節螺柱104進行調整固定，同理利用XY面調節機構2內的金屬波紋管103，可以對連接其上的管道在XY平面內的一定范圍的角度調節，然后通過XY面調節機構1上的調節螺柱104進行調整固定；具體的，所述金屬波紋管5采用不銹鋼材質制成，在真空環境中，不銹鋼的材料表面放氣率是相對很低的、加工性優良且還具有耐高溫烘烤的性能。