[實用新型]一種集成式紅外帶通濾波器和光譜儀

有效

• 申請號: 201721264857.X
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN207457534U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 但亞平;王昂
• 申請（專利權）人: 揚中市恒海電子科技有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G03F7/00;G01N21/35
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;李獻忠

本實用新型公開了一種集成式紅外帶通濾波器和光譜儀。該集成式紅外帶通濾波器包括一金屬層，所述金屬層中形成貫通的微米或納米孔陣列，通過微米或納米金屬孔的光的特征波長λ_max滿足以下公式： λ max = a 4 3 ( i 2 + i j + j 2 ) s m s d s m + s d ]]>這里，a表示金屬孔的排列周期，i和j表示與陣列散射階次相關的整數，ε_m和ε_d分別表示金屬和介電材料的介電常數。本實用新型的集成式紅外帶通濾波器可以將大量選通紅外波長不同的微型帶通濾波器，通過一次加工大規模集成在很小的芯片上，具有高集成度的優點。

技術領域

本實用新型涉及光學領域，特別是涉及一種集成式紅外帶通濾波器和光譜儀。

背景技術

物質的光譜含有物質的大量化學信息，每一種物質均有對應的特征光譜，因此探測物質的光譜可以分析物質的化學組分，在地理遙感、污染遙感監測、無創醫療診斷以及軍事目標的識別等領域具有廣泛的應用前景。然而，目前的光譜分析技術主要依賴光柵分光或者多個分立帶通濾波片進行分光，前者體積龐大，速度慢，不能滿足小型化、快速化的應用要求；而后者只能探測少數幾個波長上的信息。本實用新型提出通過刻蝕技術或剝離技術制備垂直納米或微米柱體、或納米或微米孔進而進一步形成垂直的金屬孔。本實用新型通過一次性大規模形成直徑和周期不同的金屬孔陣列，對紅外入射光在大量波長上進行分光，從而實現微型的高精度的光譜分光。

實用新型內容

本實用新型針對上述技術問題，提出了一種集成式紅外帶通濾波器及其制造方法和光譜儀，其可以將大量選通波長不同的微型帶通濾波器，通過一次加工大規模集成在很小的芯片上，具有高集成度的優點。