[實用新型]陶瓷電容式壓力傳感器

有效

• 申請號: 201721257840.1
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN207487857U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 趙興奎;廖景昌;朱里鵬
• 申請（專利權）人: 襄陽臻芯傳感科技有限公司
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14;G01L9/12;G01L23/12
• 代理公司: 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266
• 代理人: 趙曉芳

本實用新型公開了一種陶瓷電容式壓力傳感器，包括薄基板和厚基板，薄基板和厚基板均為大小相等的方形結構，且薄基板通過激光劃線的方式劃成若干薄基板方塊單元，厚基板采用干壓成型的方式預制成若干厚基板方塊單元；每個薄基板方塊單元上設置有薄基板金屬電極，每個厚基板方塊單元上設置有厚基板金屬電極、環形金屬電極、厚基板引線電極、環形金屬引線電極、薄基板引線電極和導電孔；每個薄基板方塊單元和每個厚基板方塊單元之間設置有隔離墩，薄基板和厚基板相對固定在一起，送入烘爐固化成陶瓷電容式壓力傳感器主體。本實用新型同時可以預置若干個獨立的傳感器主體單元，可以滿足批量生產的需求，節能高效，其產品的可靠性高。

技術領域

本實用新型涉及一種電容式壓力傳感器，特別涉及一種陶瓷電容式壓力傳感器，屬于壓力傳感器技術領域。

背景技術

目前陶瓷電容式壓力傳感器都是采用圓形設計，在厚薄兩片陶瓷基板的兩相對面設置電極，并采用隔離墩等作為間隔物控制電極間的距離，來形成指定初始電容值的電容器。當陶瓷薄基板受到外部壓力，薄基板會出現變形，導致電容值增加，根據這一電容的變化值，即可檢測出基板所承受的外部壓力。

這種陶瓷電容式壓力傳感器的基本工藝為：激光切割薄基板→干壓成型的厚基板→薄基板和厚基板上設置電極→電極燒成→設置隔離墩→通過壓燒使厚薄基板成為一個整體→點銀膠→上引線引出內電極→固化。這類工藝制作的陶瓷電容式壓力傳感器激光切割成圓、設置電極、燒成電極、厚薄基片壓燒成一個整體、內電極點銀膠上引線引出方式，產能較低、燒成能耗較高，對陶瓷電容式壓力傳感器批量生產造成很大影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種陶瓷電容式壓力傳感器，該傳感器不僅節能高效、而且產品的可靠性高。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案在于，一種陶瓷電容式壓力傳感器，包括薄基板和厚基板，所述薄基板和厚基板均為大小相等的方形結構，且薄基板通過激光劃線的方式劃成若干薄基板方塊單元，厚基板采用干壓成型的方式預制成若干厚基板方塊單元；每個薄基板方塊單元上設置有薄基板金屬電極，每個厚基板方塊單元上設置有厚基板金屬電極、環形金屬電極、厚基板引線電極、環形金屬引線電極、薄基板引線電極和導電孔；每個薄基板方塊單元和每個厚基板方塊單元之間設置有隔離墩，薄基板和厚基板相對固定在一起，送入烘爐固化成陶瓷電容式壓力傳感器主體。

作為優選，所述導電孔設置有三個，每個導電孔內預埋入導電引線。

作為優選，所述導電引線的埋入深度不超過厚基板金屬電極的厚度。

作為優選，所述隔離墩由隔離片沖壓而成，且隔離片的結構形狀與薄基板方塊單元的電極版圖結構相同。

作為優選，所述隔離片的厚度為10μm-30μm，其具有導電和封接功能，同時起到隔離的作用。

本實用新型的有益效果：本實用新型同時可以預置若干個獨立的傳感器主體單元，可以滿足批量生產的需求，節能高效，而且經本實用新型技術方案制作出的陶瓷壓力傳感器，其產品的可靠性高。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實用新型壓力傳感器彈性薄基板圖；

圖2為本實用新型壓力傳感器厚基板圖；

圖3為本實用新型壓力傳感器彈性薄基板電極圖；

圖4為本實用新型壓力傳感器厚基板電極圖；

圖5為本實用新型壓力傳感器陶瓷間隙隔離片圖；

圖6為本實用新型壓力傳感器整體剖面圖。