[實用新型]一種空腔型薄膜體聲波諧振器有效
| 申請號： | 201721256315.8 | 申請日： | 2017-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN207339805U | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發明（設計）人： | 李國強;李潔 | 申請（專利權）人： | 佛山市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/17 | 分類號： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 王國標 |
| 地址： | 528000 廣東省佛山市南海區獅山鎮*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空腔 薄膜 聲波 諧振器 | ||
【權利要求書】：
1.一種空腔型薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括支撐襯底、支撐層、薄膜結構層和頂電極；所述支撐襯底、支撐層與所述薄膜結構層形成的空腔為腔體，所述支撐襯底為腔底；所述支撐層設置在支撐襯底表面邊緣處，形成腔壁；所述薄膜結構層設置在支撐襯底上，形成腔蓋；所述薄膜結構層從下至上分別為底電極、壓電層，所述壓電層為單晶態氮化鋁，所述頂電極位于所述壓電層上。
2.根據權利要求1所述的一種空腔型薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述支撐層的寬度≥100μm。
3.根據權利要求1所述的一種空腔型薄膜體聲波諧振器，其特征在于，制備襯底及支撐襯底材料選自：硅、藍寶石、LiGaO
4.根據權利要求1所述的一種空腔型薄膜體聲波諧振器，其特征在于，底電極和頂電極材料為Al、Mo、W、Pt、Ti、Au中的一種。
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