[實用新型]一種提升UV固化反應室的鼓風機皮帶使用壽命的裝置

有效

• 申請號: 201721251198.6
• 申請日: 2017-09-27
• 公開（公告）號: CN207485981U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 張欣;劉濤;黃彪
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: F16H7/10
• 分類號: F16H7/10
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型提供了一種提升UV固化反應室的鼓風機皮帶使用壽命的裝置，包括UV固化反應室、與UV固化反應室相連的換熱器，所述換熱器前端設置鼓風機，所述鼓風機設置有皮帶連接的馬達皮帶輪、張緊輪和鼓風機皮帶輪，所述馬達皮帶輪與鼓風機皮帶輪與所述皮帶內貼合，所述張緊輪與所述皮帶外貼合于所述皮帶外側下方；所述張緊輪的軸心桿連接伸縮連接桿。本實用新型通過在垂直于張緊輪與皮帶的切線位置加裝帶有氣缸或導螺桿的固定支架。解決因馬達皮帶輪、鼓風機皮帶輪與皮帶之間的貼合度不好而引起的鼓風機的轉速達不到預期的效果所帶來的風險。此設計可大大減少因皮帶形變而無法繼續使用必須更換而產生的人力和零件花費開支。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體設備，尤其涉及一種提升UV固化反應室的鼓風機皮帶使用壽命的裝置。

背景技術

LAM C3 VECTOR SOLA設備工藝是在腔體內的高溫環境下，通過UV光不間斷的照射，對絕緣膜進行處理，減少絕緣膜的介電常數(k)及增強絕緣膜硬度(GPa)。通過退火改變膜的性質，滿足工藝的要求。它的特點是晶圓通量高，薄膜均勻度好。

當晶圓在腔體內固化時，鼓風機會對燈箱進行吹掃，其功能如下：

無極燈在磁電管2.45GHz高頻微波下激發點亮。當無極燈點亮時，會產生高溫大概在1000+℃。為確保無極燈不會在高溫下爆裂，需通過鼓風機的吹掃形成一股定向的氣流，對其冷卻至小于800℃。

無極燈和磁電管被密閉在燈箱中。當無極燈點亮時，遇到空氣中的O2會產生O3，O3具有強氧化性會造成零件的損壞。通過鼓風機的吹掃，將N2送入燈箱內，使其保持正壓狀態，防止空氣中的O2泄漏到燈箱中產生O3。

當鼓風機的轉速達不到要求時，吹掃所形成一股定向氣流的強度會減弱，從而會導致如下風險：

無極燈點亮時達不到預期的冷卻效果，導致燈在高溫下爆裂。

空氣中的O2泄漏到燈箱中，無極燈點亮時產生O3造成零件的損壞。

為了確保以上兩個風險不會發生，機臺端會實時的監控燈箱內的壓力大于13英寸水柱。當壓力低于13英寸水柱的范圍后，必須更換鼓風機內的零件來確保壓力在規格內在損壞的零件中皮帶的損壞率最高，是由于鼓風機高速旋轉中會產生大量的熱，導致皮帶在長期的使用過程中變形，周長變長，影響馬達皮帶輪；鼓風機皮帶輪與皮帶之間的貼合度。從而影響鼓風機內的轉速，達不到預期的效果。當此情況發生時，會產生額外的人力和零件花費。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的缺陷，提供一種能微量調節皮帶的貼合度，并保持皮帶與馬達皮帶輪和鼓風機皮帶輪的緊貼度的提升UV固化反應室的鼓風機皮帶使用壽命的裝置。

本實用新型為解決上述技術問題采用以下技術方案：

一種提升UV固化反應室的鼓風機皮帶使用壽命的裝置，包括UV固化反應室、與UV固化反應室相連的換熱器，所述換熱器前端設置鼓風機，所述鼓風機設置有皮帶連接的馬達皮帶輪、張緊輪和鼓風機皮帶輪，所述馬達皮帶輪與鼓風機皮帶輪與所述皮帶內貼合，所述張緊輪與所述皮帶外貼合于所述皮帶外側下方；所述張緊輪的軸心桿連接伸縮連接桿。

為了進一步優化上述技術方案，本實用新型所采取的技術措施為：

優選的，所述張緊輪的軸心桿凸出于張緊輪外表面。

優選的，所述張緊輪的軸心桿設置有軸心桿連接處用以連接伸縮連接桿。

優選的，所述軸心桿連接處的內徑小于所述軸心桿的內徑。

優選的，所述軸心桿連接處設置有螺紋拆卸部。

優選的，所述張緊輪的兩側均設置有軸心桿。