[實用新型]基板清潔機有效
| 申請號： | 201721242560.3 | 申請日： | 2017-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN207560486U | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 陳爾軍 | 申請（專利權）人： | 日精儀器武漢有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/22 | 分類號： | H05K3/22 |
| 代理公司： | 武漢國越知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 李偉濤 |
| 地址： | 430058 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子風刀 基板清潔機 離子發生器 除塵 粉塵回收系統 本實用新型 除靜電系統 傳送系統 軌道 電磁閥 防靜電 基板 壓輪 基板表面 控制系統 靜電 安裝塊 除靜電 兩組 粉塵 損傷 配置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板清潔機，其特征在于，包括傳送系統、除塵除靜電系統、粉塵回收系統和控制系統，所述傳送系統包括軌道和防靜電壓輪，所述防靜電壓輪設置在所述軌道上，所述除塵除靜電系統通過安裝塊固定在所述軌道上方，包括離子風刀、離子發生器和電磁閥，每兩組所述離子風刀共用一臺所述離子發生器，每組所述離子風刀配置一個所述電磁閥，所述軌道下方對應所述離子風刀處設有所述粉塵回收系統。
2.如權利要求1所述的基板清潔機，其特征在于：所述軌道包括固定軌道和活動軌道，所述固定軌道下方設置驅動電機，所述驅動電機的輸出軸固定連接調節絲桿，所述調節絲桿通過套管連接所述活動軌道。
3.如權利要求1所述的基板清潔機，其特征在于：所述離子風刀設有六組，所述離子發生器設有三臺，所述電磁閥設有六個。
4.如權利要求1所述的基板清潔機，其特征在于：所述粉塵回收系統包括風機和連接所述風機的風管，所述風機入口設有下部過濾網，所述風管出口處設有上部過濾網。
5.如權利要求1所述的基板清潔機，其特征在于：所述軌道上設置高度可調的擋塊，所述擋塊位于所述防靜電壓輪遠離所述除塵除靜電系統的一側。
6.如權利要求1所述的基板清潔機，其特征在于：所述控制系統包括控制箱、控制板、觸摸屏和操作按鈕。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于日精儀器武漢有限公司，未經日精儀器武漢有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721242560.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
