[實(shí)用新型]一種高吸留極限的低溫泵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721241662.3
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN207847882U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 武義鋒;鄧家良;馮萇春;曾環(huán);王少恒;張海峰;俞杰;孫志和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽萬瑞冷電科技有限公司
• 主分類號(hào): F04B37/08
• 分類號(hào): F04B37/08;F04B39/00;F04B39/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種高吸留極限的低溫泵，安裝于真空腔室中，其包括殼體、低溫冷源、位于殼體內(nèi)的輻射冷屏和被輻射冷屏包圍的低溫板組件，所述低溫冷源包括制冷機(jī)冷頭，所述制冷機(jī)冷頭包括同軸配置的二級(jí)冷卻臺(tái)和一級(jí)冷卻臺(tái)，所述輻射冷屏與一級(jí)冷卻臺(tái)熱連接，所述低溫板組件與二級(jí)冷卻臺(tái)熱連接，所述殼體上設(shè)有進(jìn)氣口，其進(jìn)氣方向與制冷機(jī)冷頭的軸向正交，所述低溫板組件活動(dòng)安裝于二級(jí)冷卻臺(tái)上并可繞所述二級(jí)冷卻臺(tái)旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型提供的低溫泵的低溫板組件通過其旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)均可較為接近吸氣口，實(shí)現(xiàn)對(duì)吸氣口氣體的良好冷凝和吸附。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于低溫制冷技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有較高吸附和冷凝極限的低溫泵。

背景技術(shù)

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

日常使用狀態(tài)下，低溫泵安裝于真空處理裝置的真空腔室中。由于低溫泵采用冷頭吸附，工作一段時(shí)間后，冷頭上的低溫板被氣體凝結(jié)的固體所覆蓋，表面溫度升高，對(duì)氣體吸附作用減弱甚至停止，失去抽氣作用，整個(gè)低溫泵即達(dá)到了氣吸附的極限。

分析和測(cè)試結(jié)果均表明，決定低溫泵中低溫板的冷凝和吸附效果的主要因素在于：相對(duì)于該低溫板的氣體入口的開口面積、氣體入口與低溫板之間的距離和角度位置等。在氣體入口的開口面積相對(duì)受限的條件下，對(duì)于低溫泵內(nèi)腔深處的低溫板，由于其遠(yuǎn)離吸氣口，其氣體的吸附、冷凝效果較差，進(jìn)而影響了整個(gè)低溫泵的吸附極限。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)問題作出改進(jìn)，即實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種具有較高吸附極限的低溫泵。

本實(shí)用新型提供的大容量低溫泵的技術(shù)方案如下：

一種高吸留極限的低溫泵，安裝于真空腔室中，其包括殼體、低溫冷源、位于殼體內(nèi)的輻射冷屏和被輻射冷屏包圍的低溫板組件，所述低溫冷源包括制冷機(jī)冷頭，所述制冷機(jī)冷頭包括同軸配置的二級(jí)冷卻臺(tái)和一級(jí)冷卻臺(tái)，所述輻射冷屏與一級(jí)冷卻臺(tái)熱連接，所述低溫板組件與二級(jí)冷卻臺(tái)熱連接，所述殼體上設(shè)有進(jìn)氣口，其進(jìn)氣方向與制冷機(jī)冷頭的軸向正交，所述低溫板組件活動(dòng)安裝于二級(jí)冷卻臺(tái)上并可繞所述二級(jí)冷卻臺(tái)旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步，所述高吸留極限的低溫泵還包括與所述冷頭同軸配置的第一磁驅(qū)動(dòng)盤、第二磁驅(qū)動(dòng)盤，以及驅(qū)動(dòng)所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤配置于所述殼體左側(cè)面的左方，所述第二磁驅(qū)動(dòng)盤與低溫板組件固定連接，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第二磁驅(qū)動(dòng)盤相向的表面上設(shè)有磁塊，每個(gè)布置有磁塊的磁驅(qū)動(dòng)盤側(cè)面配置成：磁塊至少為兩個(gè)，位于靠近磁驅(qū)動(dòng)盤邊緣處且沿周向等間距布置，每個(gè)磁塊的N-S磁極連線方向垂直于所述磁驅(qū)動(dòng)盤，相鄰磁塊的N-S磁極連線方向相反，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第二磁驅(qū)動(dòng)盤之間所覆蓋的殼體、輻射冷屏區(qū)域的材料為非導(dǎo)磁材料，通過第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第二磁驅(qū)動(dòng)盤之間磁塊的磁力作用，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第二磁驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步，所述輻射冷屏均為呈兩端帶蓋板且與所述冷頭同軸的圓筒狀，所述輻射冷屏活動(dòng)安裝于一級(jí)冷卻臺(tái)上并可繞一級(jí)冷卻臺(tái)旋轉(zhuǎn)，所述高吸留極限的低溫泵還包括與所述冷頭同軸配置的第一磁驅(qū)動(dòng)盤、第二磁驅(qū)動(dòng)盤，以及驅(qū)動(dòng)所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤配置于所述殼體左側(cè)面的左方，所述第二磁驅(qū)動(dòng)盤與低溫板組件固定連接，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第二磁驅(qū)動(dòng)盤相向的表面上設(shè)有磁塊，所述輻射冷屏的的左蓋板為嵌入安裝有磁塊的第三磁驅(qū)動(dòng)盤，每個(gè)布置有磁塊的磁驅(qū)動(dòng)盤配置成：磁塊至少為兩個(gè)，位于靠近磁驅(qū)動(dòng)盤邊緣處且沿周向等間距布置，每個(gè)磁塊的N-S磁極連線方向垂直于所述磁驅(qū)動(dòng)盤，相鄰磁塊的N-S磁極連線方向相反，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第三磁驅(qū)動(dòng)盤之間所覆蓋的殼體的材料為非導(dǎo)磁材料，通過第一磁驅(qū)動(dòng)盤和第三磁驅(qū)動(dòng)盤之間磁塊的磁力作用，所述第一磁驅(qū)動(dòng)盤的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第三磁驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，通過第三磁驅(qū)動(dòng)盤和第二磁驅(qū)動(dòng)盤之間磁塊的磁力作用，所述第三磁驅(qū)動(dòng)盤的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第二磁驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。