[實用新型]一種超長真空電極自動輸送裝置

有效

• 申請號: 201721226929.1
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN207361301U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 周焱文
• 申請（專利權）人: 武漢普迪真空科技有限公司
• 主分類號: B65G47/82
• 分類號: B65G47/82
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實用新型涉及一種超長真空電極自動輸送裝置，包括電極輸送系統和設置在電極輸送系統頭部的真空過渡腔，所述電極輸送系統包括真空管、電極信號外接口、空心送樣桿、內導線、導向套、內磁環、外磁環、推動板、滾珠絲桿螺母、滾珠絲桿、齒輪傳動組件、步進電機、尾部固定板，所述真空過渡腔上設置有側開門，所述側開門上設置有觀察窗，所述真空過渡腔上還設置有抽氣口；本實用新型通過真空過渡腔與大型真空系統連接，不僅可以實現對大型真空裝置內部環境進行在線、定點分析與診斷，而且可避免本裝置與原系統間的相互干擾，具有運行獨立性，并設置有側開門，便于電極更換或維護。

技術領域

本實用新型涉及真空系統設備領域，尤其涉及一種超長真空電極自動輸送裝置。

背景技術

目前，常用于大型真空系統內部診斷與分析的方式，都采用預制傳感器或電極獲得，該方法不能做到在線變換位置或在線更換電極的要求，不能滿足復雜工況下的實際診斷與分析要求；若采用焊接波紋，利用其變形量，可滿足長距離輸送要求，但波紋管變形量只有50％，若輸送距離2米，裝置整體長度將達到5米，不利于現場安裝，且焊接波紋管價格昂貴。

基于此，需要一種結構簡單、成本低廉、能在線更換電極或傳感器的超長真空電極自動輸送裝置被設計出來。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，得到一種結構簡單、成本低廉、能在線更換電極或傳感器的超長真空電極自動輸送裝置。

本實用新型是通過以下技術方案實現：

一種超長真空電極自動輸送裝置，包括電極輸送系統和設置在電極輸送系統頭部的真空過渡腔，所述電極輸送系統包括與真空過渡腔連接的真空管、設置在真空管前部的電極信號外接口、設置在真空管內部的空心送樣桿、纏繞設置在空心送樣桿前部外壁上的內導線、設置在內導線頭部并設置在真空管內的導向套、套設在空心送樣桿后部外壁的內磁環、套設固定在真空管后部外壁并與內磁環對應設置的外磁環、固定設置在外磁環尾部下方的推動板、設置在推動板前側且與推動板可拆卸連接的滾珠絲桿螺母、與滾珠絲桿螺母相適配的滾珠絲桿、與滾珠絲桿頭部通過軸連接在一起的齒輪傳動組件、與齒輪傳動組件通過軸連接在一起的步進電機、將真空管尾部與滾珠絲桿尾部固定在同一條豎直線上的尾部固定板，所述真空過渡腔上設置有側開門，所述側開門上設置有觀察窗，所述真空過渡腔上還設置有抽氣口；其中，

所述空心送樣桿頭部通過絕緣組件可拆卸固定有電極，所述內導線的尾部通過空心送樣桿上的通孔延伸進空心送樣桿內部并連接至電極，所述內導線頭部與導向套固定在一起，所述內導線頭部延伸端通過電極信號外接口連接至信號采集器，所述外磁環上設置有脫磁保護裝置，所述步進電機的旋轉圈數由旋轉編碼器控制。

進一步地，所述脫磁保護裝置為磁力傳感器，在系統檢測到脫磁信號后，控制系統會做出相應指令，修復故障，這樣可避免在電極輸送過程中，由于意外原因導致內、外磁環脫磁，脫磁后能自動復位。

進一步地，所述推動板與滾珠絲桿螺母為螺栓連接，所述推動板與外磁環尾部下方通過焊接方式固定連接在一起，起到外磁環的固定作用。

進一步地，所述導向套與真空管內壁為過盈配合，與空心送樣桿為間隙配合，起到對內導線的限位作用。

進一步地，所述內磁環通過軸承固定在空心送樣桿上，所述內磁環與真空管內壁為間隙設置，便于內磁環在磁耦合力的作用下帶動空心送樣桿運動。

進一步地，所述內磁環與外磁環分別由若干圈磁環組成，各磁環間徑向磁場相互交替，獲得最佳磁耦合力。

進一步地，所述滾珠絲桿頭部通過軸承固定設置有頭部固定板，所述滾珠絲桿的尾部通過軸承固定設置尾部固定板，便于整體裝置的穩定性。

進一步地，所述觀察窗為石英玻璃觀察窗，方便觀察電極傳送過程中的狀態。

與現有的技術相比，本實用新型的有益效果是：