[實用新型]一種半導體設備的微環境排氣控制裝置

有效

• 申請號: 201721199622.7
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207823551U
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 尤春雷
• 申請（專利權）人: 南安泉鴻孵化器管理有限公司
• 主分類號: B08B15/04
• 分類號: B08B15/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種半導體設備的微環境排氣控制裝置，其結構包括下集氣盒、排氣控制裝置主體、操作按鈕、電源總開關、上集氣盒、排氣連接孔、顯示屏、操作面板、散熱電機裝置、驅動氣缸，所述排氣控制裝置主體為多邊體結構，所述排氣控制裝置主體分為上半部分和下半部分，上半部分設有上集氣盒和排氣連接孔，所述上集氣盒與排氣控制裝置主體采用過盈配合方式活動連接，本實用新型一種半導體設備的微環境排氣控制裝置，采用散熱原理，具有散熱性功能，通過散熱筋、風罩彌補了微環境排氣控制裝置所存在的散熱性功能不強問題和排氣控制裝置發熱的問題。從而進一步增長了微環境排氣控制裝置的使用壽命。

技術領域

本實用新型是一種半導體設備的微環境排氣控制裝置，屬于氣控制裝置設備技術領域。

背景技術

排氣裝置指裝于渦輪排氣缸后，用以將廢氣排出并具有消音等作用的裝置。發動機的排氣裝置是指渦輪或加力燃燒室以后組織排氣的構件。排氣裝置的組成和結構方案取決于發動機和飛機的類別及用途。排氣裝置包括尾噴管、反推力裝置、消音裝置等。尾噴管是發動機必不可少的一個部件，其他的排氣裝置則是根據發動機和飛機的特殊需要而設置的。

現有技術公開了申請號為：CN201410238078.7的一種排氣控制裝置，用以解決目前排氣控制裝置雖可依據通風柜的活動門片開啟程度自動調控排氣量，但制造成本卻太高的問題。本發明的排氣控制裝置包含：一個管座，具有能夠連通該通風柜內部的一個管殼；一個動力傳遞模組，一端穿伸入該管殼中，另一端位于該管殼外；一個塞體，設于該管座中，并連接該動力傳遞模組穿伸入該管殼中的一端；及一個連接件，一端連接該動力傳遞模組位于該管殼外的一端，另一端用以連接該通風柜的活動門片，以隨該活動門片位移連動該動力傳遞模組。本發明排氣控制裝置借助相對低成本的機械式構件，在能夠依據活動門片開啟程度帶動該塞體沿管殼位移，從而自動調控通風柜排氣量。但是其不足之處在于散熱性功能不強，排氣控制裝置發熱。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種半導體設備的微環境排氣控制裝置，以解決散熱性功能不強，排氣控制裝置發熱的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種半導體設備的微環境排氣控制裝置，其結構包括下集氣盒、排氣控制裝置主體、操作按鈕、電源總開關、上集氣盒、排氣連接孔、顯示屏、操作面板、散熱電機裝置、驅動氣缸，所述排氣控制裝置主體為多邊體結構，所述排氣控制裝置主體分為上半部分和下半部分，上半部分設有上集氣盒和排氣連接孔，所述上集氣盒與排氣控制裝置主體采用過盈配合方式活動連接，所述排氣連接孔與排氣控制裝置主體采用固定連接，下半部分設有下集氣盒、散熱電機裝置和驅動氣缸，所述下集氣盒與排氣控制裝置主體采用過盈配合方式活動連接，所述散熱電機裝置和驅動氣缸設于下集氣盒右側，所述上半部分通過操作面板與下半部分連為一體，所述操作面板上設有操作按鈕、電源總開關、顯示屏和操作面板；所述散熱電機裝置由定子繞組接線盒、底腳、轉子繞組接線盒、散熱筋、風罩組成，所述定子繞組接線盒設于散熱筋表面，所述風罩與散熱筋相連接，所述散熱筋通過連接件與轉子繞組接線盒，所述底腳設于散熱筋底部，所述散熱電機裝置與排氣控制裝置主體相連接。

進一步地，所述下集氣盒面積是驅動氣缸面積二倍。

進一步地，所述操作按鈕為凸起的圓柱體結構。

進一步地，所述電源總開關為凸起的圓形結構。

進一步地，所述排氣連接孔設于上集氣盒上面。

進一步地，所述顯示屏設于操作面板正中央。

進一步地，所述散熱筋圍繞風罩一周。

進一步地，所述定子繞組接線盒為正方體結構，轉子繞組接線盒為長方體結構。

有益效果