[實(shí)用新型]一種晶圓管芯通態(tài)壓降的測(cè)量電路

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721196879.7
• 申請(qǐng)日: 2017-09-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207149531U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋利鵬;郝瑞庭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京華峰測(cè)控技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66;G01R19/00
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種晶圓管芯通態(tài)壓降的測(cè)量電路，其特征在于，待測(cè)晶圓包括多顆二極管管芯，所述多顆二極管管芯包括至少一顆被測(cè)管芯和多顆輔助管芯，

所述測(cè)量電路包括至少一個(gè)電流源、至少一個(gè)電壓表和探針臺(tái)吸盤(pán)；

每個(gè)所述電流源與一顆所述被測(cè)管芯對(duì)應(yīng)；每個(gè)所述電壓表與一顆所述被測(cè)管芯對(duì)應(yīng)；

其中，所述多顆二極管管芯的陰極電連接，并通過(guò)所述待測(cè)晶圓的背面的公共電極與所述探針臺(tái)吸盤(pán)電連接；

每個(gè)所述電流源的第一端與其對(duì)應(yīng)的被測(cè)管芯的陽(yáng)極電連接，所述電流源的第二端與所述探針臺(tái)吸盤(pán)電連接；

每個(gè)所述電壓表的第一端與其對(duì)應(yīng)的被測(cè)管芯的陽(yáng)極電連接，所述電壓表的第二端與至少一顆輔助管芯的陽(yáng)極電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于，所述至少一個(gè)電壓表的第二端電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于，每個(gè)所述電壓表的第一端與其對(duì)應(yīng)的被測(cè)管芯的陽(yáng)極的電連接為開(kāi)爾文連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于，所述探針臺(tái)吸盤(pán)表面設(shè)置有鍍金層或鍍鎳層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于，還包括真空吸嘴，用于將所述待測(cè)晶圓吸附在所述探針臺(tái)吸盤(pán)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于，還包括至少一個(gè)第一開(kāi)關(guān)單元，與所述電流源一一對(duì)應(yīng)，與對(duì)應(yīng)的電流源串聯(lián)；以及至少一個(gè)第二開(kāi)關(guān)單元，與所述電壓表一一對(duì)應(yīng)，與對(duì)應(yīng)的電壓表串聯(lián)。