[實用新型]用于防污膜材料的電阻蒸發源

有效

• 申請號: 201721195496.8
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN207483838U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 毛念新;嚴仲君
• 申請（專利權）人: 上海嘉森真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 上海卓冉律師事務所 31296
• 代理人: 李鋒

1.一種用于防污膜材料的電阻蒸發源，其特征在于，其包括蒸發舟、電極、電極棒、加熱器、第一冷卻水路、金屬接線端子、第二冷卻水路、上螺帽、下螺帽、上螺母、下螺母、上螺柱、下螺柱、連接孔，蒸發舟位于電極的一端，電極的另一端與電極棒的一端連接，電極棒的另一端連接金屬接線端子，加熱器位于電極棒的上方，第一冷卻水路位于金屬接線端子的一側，加熱器位于金屬接線端子的一側，第一冷卻水路和第二冷卻水路相連通，金屬接線端子位于第二冷卻水路的一側，第二冷卻水路位于電極內，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，上螺柱位于下螺柱的上方，上螺帽、上螺母都與上螺柱連接，下螺帽、下螺母都與下螺柱連接，連接孔位于金屬接線端子上且位于電極的一側。

2.如權利要求1所述的用于防污膜材料的電阻蒸發源，其特征在于，所述加熱器為帶熱電偶加熱器。

3.如權利要求1所述的用于防污膜材料的電阻蒸發源，其特征在于，所述金屬接線端子為銅接線片。

4.如權利要求1所述的用于防污膜材料的電阻蒸發源，其特征在于，所述加熱器沿第二冷卻水路的延伸方向布置且距離蒸發舟1.5～3cm。

5.如權利要求1所述的用于防污膜材料的電阻蒸發源，其特征在于，所述加熱器的形狀為彎折狀。