[實用新型]一種具有壓籃檢測功能的晶硅制絨設備抓手有效
| 申請號: | 201721193661.6 | 申請日: | 2017-09-18 |
| 公開(公告)號: | CN207165541U | 公開(公告)日: | 2018-03-30 |
| 發明(設計)人: | 程強強;霍召軍 | 申請(專利權)人: | 庫特勒環保科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海申新律師事務所31272 | 代理人: | 翁德億 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 具有 檢測 功能 晶硅制絨 設備 抓手 | ||
1.一種具有壓籃檢測功能的晶硅制絨設備抓手,其特征在于:包括一個龍門架,所述龍門架由一塊頂板(1)、左右兩塊側擋板(2)和前后兩塊固定板(3)組成;所述龍門架的左右兩側分別設置有一塊抓手板(4),所述抓手板(4)的上部為連接板(41),所述連接板(41)上開設有若干個縱向的腰型孔(42),所述抓手板(4)的下部設置有四根垂直向下的抓手(43),每根所述抓手(43)底部的內側面上均設置有一個用于勾取晶硅片籃子(8)的爪鉤(44);
每個腰型孔(42)中均設置有一個螺絲(5),每個所述螺絲(5)的螺帽部均位于所述腰型孔(42)的外側,每個所述螺絲(5)的螺紋部均穿過對應的所述腰型孔(42)后固定在所述側擋板(2)下部的外側面上;左右兩塊所述側擋板(2)的中部分別開設有一個傳感器安裝孔(6),兩個所述傳感器安裝孔(6)內均設置有一個壓籃傳感器(7);
當所述螺絲(5)位于所述腰型孔(42)的頂部時,所述抓手板(4)的上端面高于所述傳感器安裝孔(6)所在位置的高度,遮住所述傳感器安裝孔(6);當所述螺絲(5)位于所述腰型孔(42)的底部時,所述抓手板(4)的上端面低于所述傳感器安裝孔(6)所在位置的高度,露出所述傳感器安裝孔(6)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





