[實用新型]一種半導體設備粉塵去除裝置

有效

• 申請號: 201721189306.1
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207401891U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 紀雅欣;郭高平
• 申請（專利權）人: 西南交通大學
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B15/04
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 于鵬

1.一種半導體設備粉塵去除裝置，其結構包括電機(1)、集塵箱(2)、支撐桿(3)、粉塵感應器(4)、除塵器主體(5)、導管(6)、控制箱(7)、接線槽(8)、機箱(9)，所述機箱(9)為外壁硬實且兩側表面相等且的長方體結構，內側表面底部與集塵箱(2)底部表面采用過盈配合方式活動連接且構成回字型，機箱(9)高度為80cm，所述除塵器主體(5)為兩側表面相等且內側中空的圓柱體結構，側方表面設在導管(6)側方表面末端且構成凸型，除塵器主體(5)直徑為12cm-13cm，其特征在于：

所述機箱(9)內側表面底部與集塵箱(2)底部表面采用過盈配合方式活動連接，機箱(9)長度為1.2m，所述集塵箱(2)為外壁硬實且內部中空的長方體結構，側方表面設在導管(6)側方表面且相互垂直，集塵箱(2)外壁厚度為20mm-35mm，所述控制箱(7)為兩側表面相等且側方頂部內凹的凹型，機箱(9)側方表面上方設有控制箱(7)側方表面且處于同一水平，控制箱(7)寬度為7cm，所述除塵器主體(5)側方表面與導管(6)側方表面末端采用過盈配合方式活動連接且相互垂直，除塵器主體(5)長度為26cm，所述導管(6)為外壁柔軟且內部中空的圓柱體結構，側方表面設在機箱(9)側方表面，導管(6)長度為1.8m-2.1m，所述支撐桿(3)為內外硬實且相互平行的圓柱體結構，除塵器主體(5)底部表面邊沿設有支撐桿(3)頂部表面且構成三角形，支撐桿(3)高度為2.2m，所述粉塵感應器(4)底部表面設在除塵器主體(5)底部表面邊沿中央且相互垂直；

所述粉塵感應器(4)由粉塵探測器(401)、外殼(402)、驅動板(403)、電路板(404)、執行器(405)、感應器主體(406)組成，所述粉塵探測器(401)為兩側表面相等且相互平行的橢圓形，外側表面與外殼(402)頂部表面中央采用過盈配合方式活動連接且構成凸型，粉塵探測器(401)長度為7cm，所述外殼(402)兩側表面相等且頂部凸起的凸型，底部表面設在除塵器主體(5)底部表面邊沿中央，外殼(402)高度為14cm-16cm，所述驅動板(403)為內外硬實且相互平行的長方體結構，電路板(404)頂部表面設有驅動板(403)底部表面且相互垂直，驅動板(403)高度為6cm，所述電路板(404)為內外硬實且相互平行的長方體結構，底部表面與外殼(402)內側底部表面采用過盈配合方式活動連接且相互平行，電路板(404)厚度為30mm-40mm，所述執行器(405)底部表面設在電路板(404)頂部表面邊沿且相互垂直，執行器(405)長度為4.5cm，所述感應器主體(406)為兩側表面相等且相互平行的長方體結構，電路板(404)頂部表面設有感應器主體(406)底部表面且構成凸型，感應器主體(406)長度為8cm-9cm。

2.根據權利要求1所述的一種半導體設備粉塵去除裝置，其特征在于：所述控制箱(7)內凹表面設有接線槽(8)側方表面末端且相互垂直。

3.根據權利要求1所述的一種半導體設備粉塵去除裝置，其特征在于：所述電機(1)底部表面與機箱(9)內側表面邊沿采用過盈配合方式活動連接且相互平行，電機(1)直徑為13cm-15cm。

4.根據權利要求1所述的一種半導體設備粉塵去除裝置，其特征在于：所述外殼(402)表面設有指示燈和按鈕。

5.根據權利要求1所述的一種半導體設備粉塵去除裝置，其特征在于：所述除塵器主體(5)底部設有2根支撐桿(3)。

6.根據權利要求1所述的一種半導體設備粉塵去除裝置，其特征在于：所述機箱(9)外壁厚度為30mm-40mm。