[實用新型]耐久性等離子體發生器

有效

• 申請號: 201721183940.4
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN207340265U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 王諍
• 申請（專利權）人: 杭州元睿電子有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.耐久性等離子體發生器，其特征是：包括條形的上絕緣板（1）和下絕緣板（2），上絕緣板（1）的內側面的中部設置有方波波形的電極線（3），下絕緣板（2）的內側面的中部與所述電極線（3）相配合設置有矩形電極板（4），上絕緣板（1）和下絕緣板（2）的內側面的兩端均設置有相配合的隔離板（5），電極線（3）和矩形電極板（4）均設置有引出端（6），所述引出端（6）之間施加高頻電壓。

2.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：電極線（3）和矩形電極板（4）均為銅、不銹鋼或者鉛材質結構。

3.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：電極線（3）為印刷導電線。

4.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：矩形電極板（4）為印刷導電板。

5.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：高頻電壓為高頻交流電壓或者高頻脈沖電壓。

6.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：矩形電極板（4）上與電極線（3）相配合設置有若干凸點。

7.根據權利要求1所述的耐久性等離子體發生器，其特征是：電極線（3）和矩形電極板（4）之間的間隙距離不小于0.4mm。