[實用新型]氣體輸送裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721183855.8 | 申請日： | 2017-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN209129832U | 公開（公告）日： | 2019-07-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 莫皓然;黃啟峰;李偉銘;韓永隆;蔡長諺 | 申請（專利權(quán)）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F04B45/047 | 分類號： | F04B45/047;F04B39/10 |
| 代理公司： | 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃銥 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 致動 出口板 共振板 氣體輸送裝置 入口板 導流 基材 室內(nèi) 壓電元件驅(qū)動 第二腔室 第一腔室 壓電元件 依序堆疊 中空孔洞 出口孔 匯流腔 進入孔 導出 流通 | ||
本案提供一種氣體輸送裝置，由至少一導流單元所構(gòu)成，至少一導流單元包含入口板、基材、共振板、致動膜、壓電元件及出口板依序堆疊設(shè)置，共振板與致動膜間定義第一腔室，致動膜與出口板間定義第二腔室，當壓電元件驅(qū)動致動膜時，氣體由入口板的進入孔進入基材的匯流腔室，并流經(jīng)共振板的中空孔洞，以進入第一腔室內(nèi)，并由致動膜的空隙導入第二腔室內(nèi)，最后由出口板的出口孔導出，借此以控制氣體的流通。
【技術(shù)領(lǐng)域】
本案是關(guān)于一種氣體輸送裝置，尤指一種透過微型、薄型且靜音的氣體輸送裝置。
【背景技術(shù)】
目前于各領(lǐng)域中無論是醫(yī)藥、電腦科技、打印、能源等工業(yè)，產(chǎn)品均朝精致化及微小化方向發(fā)展，其中微幫浦所包含的氣體輸送結(jié)構(gòu)為其關(guān)鍵技術(shù)，是以，如何借創(chuàng)新結(jié)構(gòu)突破其技術(shù)瓶頸，為發(fā)展的重要內(nèi)容。
隨著科技的日新月異，氣體輸送裝置的應(yīng)用上亦愈來愈多元化，舉凡工業(yè)應(yīng)用、生醫(yī)應(yīng)用、醫(yī)療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統(tǒng)的氣體輸送裝置已漸漸有朝向裝置微小化、流量極大化的趨勢。
于現(xiàn)有技術(shù)中，氣體輸送裝置主要以傳統(tǒng)的機構(gòu)部件堆疊而構(gòu)成，并以每一個機構(gòu)部件極小化或厚度薄化的方式，來達到整體裝置微型化、薄型化的目的。然而，傳統(tǒng)機構(gòu)件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且組裝精度同樣難以掌控，進而造成產(chǎn)品良率不一，甚至有氣體傳送的流量不穩(wěn)定等問題。
再者，已知的氣體傳輸裝置亦具有輸送流量不足的問題，透過單一氣體傳輸裝置難以因應(yīng)大量氣體傳輸?shù)男枨螅乙阎臍怏w傳輸裝置通常有外凸的導接腳以供通電連接之用，故若欲將多個已知的氣體傳輸裝置并排設(shè)置以提高傳輸量，其組裝精度同樣不易控制，導接腳容易造成設(shè)置的障礙，且亦導致其外接的供電線設(shè)置復雜，因此仍難以透過此方式提高流量，排列方式亦較無法靈活運用。
因此，如何發(fā)展一種可改善上述已知技術(shù)缺失，可使傳統(tǒng)采用氣體傳輸裝置的儀器或設(shè)備達到體積小、微型化且靜音，且克服微型尺寸精度不易掌控、流量不足的問題，且可靈活運用于各式裝置的微型氣體傳輸裝置，實為目前迫切需要解決的問題。
【實用新型內(nèi)容】
本案的主要目的在于提供一種氣體輸送裝置，借由微機電制程制出一體成型的微型化氣體輸送裝置，以克服傳統(tǒng)輸送裝置無法同時兼具體積小、微型化、尺寸精度掌控以及流量不足的問題。
為達上述目的，本案的一較廣義實施樣態(tài)為提供一種氣體輸送裝置，其由至少一導流單元所構(gòu)成，該至少一導流單元包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，為面型微加工技術(shù)制成的懸浮結(jié)構(gòu)，具有一中空孔洞及多個可動部；一致動膜，為面型微加工技術(shù)制成的中空懸浮結(jié)構(gòu)，具有多個懸浮部、一外框部及至少一空隙；一壓電元件，貼附于該致動膜的該懸浮部的一表面；一出口板，具有一出口孔；其中，該入口板、該基材、該共振板、該致動膜及該出口板是依序?qū)?yīng)堆疊設(shè)置，該導流單元的該共振板及該致動膜之間具有一間隙形成一第一腔室，該致動膜及該出口板之間形成一第二腔室，當該導流單元的該壓電元件驅(qū)動該致動膜時，氣體由該入口板的該入口孔進入該匯流腔室，并流經(jīng)該共振板的該中空孔洞，以進入該第一腔室內(nèi)，并由該至少一空隙導入該第二腔室內(nèi)，最后由該出口板的該出口孔導出，借此以控制氣體的流通。
【附圖說明】
圖1為本案為較佳實施例的氣體輸送裝置之外觀結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為圖1所示的導流單元結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3A至圖3C為圖2所示的氣體輸送裝置的單一導流單元作動流程局部示意圖。
圖4A及圖4B為本案的閥的第一、第二及第三實施態(tài)樣的作動示意圖。
圖5A及圖5B為本案的閥的第四、第五實施態(tài)樣的作動示意圖。
【具體實施方式】
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