[實用新型]一種原料供應裝置及陣列基板線路不良維修裝置

有效

• 申請號: 201721176469.6
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN207338343U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 李宜軒
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: H01L21/84
• 分類號: H01L21/84
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種原料供應裝置，包括原料存儲罐，用于存儲維修原料，其特征在于，還包括，可升降平臺以及標尺；

所述可升降平臺位于所述原料存儲罐內，且與所述原料存儲罐的底面平行；

所述原料存儲罐頂部設置有通孔；

所述標尺的第一端與所述可升降平臺固定連接，所述標尺與所述第一端相對的第二端從位于所述原料存儲罐頂部的通孔穿出，并露置于所述原料存儲罐外部。

2.根據權利要求1所述的原料供應裝置，其特征在于，

所述原料存儲罐內壁設置有滑道；

所述可升降平臺邊緣設置有滑動部件；

所述滑道的形狀和尺寸與所述滑動部件的形狀和尺寸相匹配。

3.根據權利要求1所述的原料供應裝置，其特征在于，還包括升降控制部件；

所述升降控制部件與所述可升降平臺相連。

4.根據權利要求3所述的原料供應裝置，其特征在于，所述升降控制部件包括電磁鐵，所述電磁鐵固定于所述原料存儲罐的頂部；

所述可升降平臺為永磁體。

5.根據權利要求4所述的原料供應裝置，其特征在于，所述電磁鐵包括鐵芯，以及導電繞組；所述原料供應裝置還包括電流控制器；

所述鐵芯固定于所述原料存儲罐的頂部，所述導電繞組纏繞于所述鐵芯上，所述導電繞組與所述電流控制器電連接。

6.根據權利要求1所述的原料供應裝置，其特征在于，還包括觀察窗；

所述觀察窗的形狀為柱形；

所述觀察窗套置于所述標尺露置于所述原料存儲罐外部的部分上，且與所述原料存儲罐通孔的邊緣無縫連接。

7.根據權利要求6所述的原料供應裝置，其特征在于，還包括激光發射器和激光接收器；

所述激光發射器和所述激光接收器固定于所述原料存儲罐頂部的外壁上，且所述激光發射器、所述激光接收器以及所述標尺位于同一直線上；

所述標尺包括沿所述標尺延伸方向排列的透光區和非透光區。

8.根據權利要求7所述的原料供應裝置，其特征在于，還包括報警模塊，所述激光接收器與所述報警模塊電連接。

9.根據權利要求1所述的原料供應裝置，其特征在于，還包括至少一個第一類導氣管和至少一個第二類導氣管；

所述第一類導氣管的一端與所述原料存儲罐連接，另一端與反應腔室連接；

所述第二類導氣管的一端與所述原料存儲罐連接，另一端與氣體存儲罐連接。

10.一種陣列基板線路不良維修裝置，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的原料供應裝置。