[實用新型]刷膠裝置有效
| 申請號: | 201721175347.5 | 申請日: | 2017-09-13 |
| 公開(公告)號: | CN207116385U | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 向軍 | 申請(專利權)人: | 江蘇新智達新能源設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L29/861 |
| 代理公司: | 常州市權航專利代理有限公司32280 | 代理人: | 袁興隆 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫市濱湖區隱*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 | ||
1.一種刷膠裝置,包括料片發放裝置(1)、刷膠裝置(2)、石墨盤發放裝置(3)和石墨盤收集裝置(4),所述料片發放裝置(1)裝載有料片,所述石墨盤發放裝置(3)裝載有石墨盤,其特征在于:所述刷膠裝置(2)還包括置料臺(5)、拼裝臺(6)和轉移爪(7),所述料片發放裝置(1)可將料片放置到所述置料臺(5)上,所述刷膠裝置(2)能蓋印在所述置料臺(5)上的料片上完成刷膠操作,所述石墨盤發放裝置(3)可將石墨盤取放到所述拼裝臺(6)上,所述轉移爪(7)能將所述置料臺(5)上的料片取放到所述拼裝臺(6)上的石墨盤上。
2.如權利要求1所述的刷膠裝置,其特征在于:所述刷膠裝置(2)還包括第一左右導軌(8)、第一左右滑塊(9)和第一左右電機(10),所述第一左右導軌(8)沿左右水平方向固定設置,所述第一左右滑塊(9)安裝在所述第一左右導軌(8)上,所述第一左右導軌(8)在所述第一左右電機(10)的驅動下轉動并能驅動所述第一左右滑塊(9)左右運動,所述置料臺(5)固定設置在所述第一左右滑塊(9)上;所述料片發放裝置(1)和所述刷膠裝置(2)設置在所述第一左右導軌(8)近右端處,所述石墨盤發放裝置(3)和所述石墨盤收集裝置(4)設置在所述第一左右導軌(8)近左端處。
3.如權利要求2所述的刷膠裝置,其特征在于:所述刷膠裝置(2)還包括第一垂直導軌(11)、第一垂直滑塊(12)和第一垂直電機(13),所述第一垂直導軌(11)沿垂直于左右水平方向固定設置,所述第一垂直滑塊(12)安裝在所述第一垂直導軌(11)上,所述第一垂直導軌(11)在所述第一垂直電機(13)的驅動下轉動并能驅動所述第一垂直滑塊(12)沿垂直于左右水平方向運動,所述拼裝臺(6)固定設置在所述第一垂直滑塊(12)上;所述石墨盤發放裝置(3)設置在所述第一垂直導軌(11)近上端處,所述石墨盤收集裝置(4)設置在所述第一垂直導軌(11)近下端處。
4.如權利要求3所述的刷膠裝置,其特征在于:所述第一左右導軌(8)的左端正交于所述第一垂直導軌(11)的上端,所述刷膠裝置(2)還包括第二左右導軌(14)、第二左右滑塊(15)和第二左右電機(16);所述第二左右導軌(14)沿平行于所述第一左右導軌(8)的方向設置,其左端設置在近所述第一垂直導軌(11)的上端,其右端設置在近所述第一左右導軌(8)的左端;所述第二左右滑塊(15)安裝在所述第二左右導軌(14)上,所述第二左右導軌(14)在所述第二左右電機(16)的驅動下轉動并能驅動所述第二左右滑塊(15)沿左右水平方向運動,所述轉移爪(7)固定設置在所述第二左右滑塊(15)上。
5.如權利要求4所述的刷膠裝置,其特征在于:所述轉移爪(7)上設置有若干個真空吸嘴。
6.如權利要求4所述的刷膠裝置,其特征在于:所述石墨盤收集裝置(4)包括石墨盤匣(17)、豎直導軌(18)、豎直滑塊(19)和豎直電機(20),所述石墨盤匣(17)設置在所述第一垂直導軌(11)近下端處的左側,在所述第一垂直導軌(11)近下端處的右側設置有水平推桿(21);所述石墨盤匣(17)的右側敞開,所述水平推桿(21)正對于所述石墨盤匣(17)的右側設置并且所述水平推桿(21)的高度與所述拼裝臺(6)上的石墨盤匣(17)的高度相等。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





